视觉误差校正方法技术

本发明专利技术提供了一种视觉误差校正方法，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差。该方法包括：提供具有至少一对位点的对位图案；使对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，且预设图像点位于可视区域的预设位置上；使对位点位于工作区域的多个第二预设位置的其中之一上；调整振镜扫描模块的多个参数，以使对位图像点位于预设位置上；使对位图像点陆续地移动至可视区域的多个位置上；记录对位图像点在可视区域的位置、对位点在工作区域中的位置以及振镜扫描模块的参数，以制作对位表。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差。该方法包括：提供具有至少一对位点的对位图案；使对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，且预设图像点位于可视区域的预设位置上；使对位点位于工作区域的多个第二预设位置的其中之一上；调整振镜扫描模块的多个参数，以使对位图像点位于预设位置上；使对位图像点陆续地移动至可视区域的多个位置上；记录对位图像点在可视区域的位置、对位点在工作区域中的位置以及振镜扫描模块的参数，以制作对位表。【专利说明】
本专利技术是有关于一种校正方法，且特别是有关于一种。
技术介绍
在许多先进材料加工工艺与精密加工工艺中，传统加工技术已不能够满足需求，而需借助激光微加工技术，才能适应工艺所需。精密加工工艺中，视觉定位功能也是精密加工的手段之一。 一般而言，振镜的激光加工系统其控制的方法是利用反射镜片来改变激光束的入射角度，将激光束控制在工件的预加工位置。搭配同轴视觉技术，加工物可在电荷耦合元件(Charge-coupled Device,CO))上进行成像,来达成视觉定位的功能，由于激光束与可见光波段不同，造成激光束的光轴与可见光的光轴不同，因而产生光程误差或其它可能的误差。这些误差会使电荷耦合元件上的图像有视觉误差的产生，进而降低视觉的定位精度。 因此，激光同轴视觉模块的视觉误差问题，实在为目前研发人员关注的重要课题。
技术实现思路
本专利技术的一实施例的一种适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差，其包括:提供对位图案，对位图案具有至少一对位点；使对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，对位图案在图像感测单元的可视区域上形成对位图案图像，且预设点在可视区域上形成的预设图像点位于可视区域的预设位置上，其中工作区域具有多个第二预设位置；使对位图案的至少一对位点位于其中一第二预设位置上；调整振镜扫描模块的多个参数，使至少一对位点在可视区域上形成的对位图像点位于可视区域的预设位置上，且记录振镜扫描模块的这些参数；使对位图像点陆续地相对移动至可视区域的多个位置上，并分别记录对位图像点在可视区域的这些位置、对位点在工作区域中的多个位置以及振镜扫描模块的这些参数，以制作工作区域所属的对位表。 为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术一实施例的一种的流程图。 图2是本专利技术一实施例的一种激光加工装置的架构示意图。 图3A是图1的实施例的部分的流程图。 图3B是图2的一种振镜扫描模块的架构示意图。 图3C是图3A的实施例的一种对位图案正视示意图。 图3D是图3A的实施例的工作区域正视示意图。 图3E是图3A的实施例的对位图案图像在可视区域的正视示意图。 图4A是图1的实施例的对位图案在工作区域观测坐标系内的正视示意图。 图4B是图2的一种移动平台的侧视示意图。 图4C是图1的实施例的工作区域位于移动平台上的正视示意图。 图4D与图4E是图4A的对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视示意图。 图5A是图1的实施例的对位图案的动作路径示意图。 图5B是图5A的对位图案图像在可视区域上的正视示意图。 图5C是图5A的对位图案的动作路径示意图。 图是图5C的对位图案图像在可视区域上的正视示意图。 图6是本专利技术另一实施例的一种的流程图。 图7是本专利技术另一实施例的一种激光加工装置的架构示意图。 图8是图6的实施例的一种对位图案正视示意图。 图9A至图9E是图6的实施例的一种对位图案位置的校正方法的流程示意图。 图1OA是图6的实施例的工作区域观测坐标系以及可视区域观测坐标系间的相对动作路径示意图。 图1OB与图1OC是图1OA中的一子对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视示意图。 图1lA是图6的实施例的工作区域观测坐标系以及可视区域观测坐标系间的相对动作路径示意图。 图1lB与图1lC是图1lA中的子对位图案图像在不同可视区域观测坐标系上的正视不意图。 【符号说明】 60:激光； 70:可见光； 100,200:激光加工装置； 110:激光源； 120:振镜扫描模块； 121:聚焦镜； 123、125:反射镜； 122、124:旋转机构； 130:分光镜； 140:图像感测单元； 150:移动平台； 160:控制单元； T:校正点； A、A0、A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A8:对位点； C:预设点； T1:校正图像点； A1、A10、AI1、AI2、AI6:对位图像点； Cl:预设图像点； AO:预设位置； O:第一预设位置； 00、01、02、03、04、05、06、07、08:第二预设位置； P1、P2、P3、P4:位置; TP:归零对位图案； AP、AP’:对位图案； APO、AP1、AP2、AP3、AP4、AP5、AP6、AP7、AP8:子对位图案； P1:对位图案图像； WS:激光加工试片； AS:校正试片； WA:工作区域； WA0、WA1、WA2、WA3、WA4、WA5、WA6、WA7、WA8:子工作区域； AA:可视区域； ( θ χ，θγ):振镜参数(以坐标方式表示); (X，y):可视区域上的位置坐标； (X，Y):工作区域上的位置坐标； L:水平参考轴； S110、SllU S112、S120、S121、S122、S130、S140、S150、S210、S220、S230、S240、S250、S260、S270:步骤。 【具体实施方式】 图1是本专利技术一实施例的一种的流程图。图2是本专利技术一实施例的一种激光加工装置的架构示意图。请参照图1，在本实施例中，例如可利用图2中的激光加工装置100来执行，但本专利技术并不以此为限。或者，也可通过加载图2中的激光加工装置100的计算机程序产品(包含用以执行此的程序指令)及其相关硬设备来执行，但本专利技术也不以此为限。本实施例的可用以校正激光加工装置100的多个视觉定位误差，其包括下列步骤:首先，执行步骤S110，提供对位图案AP，对位图案AP上并具有至少一对位点A。以下将搭配图3A至3C，针对步骤SllO的执行方法进行详细描述。 图3A是图1的实施例的部分的流程图。图3B是图2的一种振镜扫描模块的架构示意图。图3C是图3A的实施例的一种对位图案正视示意图。请参照图3A至图3C，先执行步骤SI 11，提供激光加工试片WS，并使激光加工试片WS位于工作区域WA内，接着执行步骤SI 12，在激光加工试片WS上形成对位图案AP。具体而言，在本实施例中，形成对位图案AP的方式例如可利用图2中的激光加工装置100的激光源110所发出的激光60在激光加工试片WS上进行加工。进一步而言，在本实施例中，加工激光加工试片WS的步骤例如可利用图3B中的振镜扫描模块120来执行。更详细而言，振镜扫描模块120位于激光60的传递路径上，并包括聚焦镜121以及二反射镜123、125，反射镜123、125并分别与二旋转机构122、124连接，旋转机构122、124可旋转反射镜123、1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种视觉误差校正方法，其特征在于，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差，而该视觉误差校正方法包括：(a)提供对位图案，该对位图案具有至少一对位点；(b)使该对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，该对位图案在图像感测单元的可视区域上形成对位图案图像，且该预设点在该可视区域上形成的预设图像点位于该可视区域的预设位置上，其中该工作区域具有多个第二预设位置；(c)使该对位图案的至少一该对位点位于其中一该第二预设位置上；(d)调整振镜扫描模块的多个参数，使该至少一该对位点在该可视区域上形成的对位图像点位于该可视区域的该预设位置上，且记录该振镜扫描模块的该些参数；以及(e)使该对位图像点陆续地相对移动至该可视区域的多个位置上，并分别记录该对位图像点在该可视区域的该些位置、该对位点在该工作区域中的位置以及该振镜扫描模块的该些参数，以制作该工作区域所属的对位表。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕绍铨，曾介亭，李闵凯，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71