氩气纯化装置制造方法及图纸

技术编号:10612489 阅读:114 留言:0更新日期:2014-11-05 20:09
本实用新型专利技术公开了一种氩气纯化装置,它涉及一种气体生产装置。它包括吸气剂纯化器、气气换热器、电热加热器、气水换热器、低温储罐、室温汽化器和减压装置,吸气剂纯化器分别与气气换热器、电热加热器相连,气气换热器分别与气水换热器和减压装置相连,减压装置通过室温汽化器与低温储罐相连。本实用新型专利技术结构简单,操作方便,能够生产出高纯度的氩气,实用性强。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种氩气纯化装置,它涉及一种气体生产装置。它包括吸气剂纯化器、气气换热器、电热加热器、气水换热器、低温储罐、室温汽化器和减压装置,吸气剂纯化器分别与气气换热器、电热加热器相连,气气换热器分别与气水换热器和减压装置相连,减压装置通过室温汽化器与低温储罐相连。本技术结构简单,操作方便,能够生产出高纯度的氩气,实用性强。【专利说明】氩气纯化装置
本技术涉及的是一种气体生产装置,具体涉及一种氩气纯化装置。
技术介绍
氩气是一种稀有气体,空气中的氩含量约占0.932% (体积),它广泛应用于冶金、化工、电子等行业。随着经济的发展和科学技术的进步,氩气已成为一种重要的工业气体,其应用范围得到不断扩大,对其质量的要求也越来越高,促进了氩气生产技术的发展。传统的氩气纯化装置存在一些缺陷:不能快速高效地进行氩气纯化,纯化效果不佳,操作不便。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足,本技术目的是在于提供一种氩气纯化装置,结构简单,操作方便,能够生产出高纯度的氩气,实用性强。 为了实现上述目的,本技术是通过如下的技术方案来实现:氩气纯化装置,包括吸气剂纯化器、气气换热器、电热加热器、气水换热器、低温储罐、室温汽化器和减压装置,吸气剂纯化器分别与气气换热器、电热加热器相连,气气换热器分别与气水换热器和减压装置相连,减压装置通过室温汽化器与低温储罐相连。 作为优选,所述的气水换热器还与冷却循环水装置相连。 作为优选,所述的低温储罐还与吸附干燥器相连,能够对氩气进行深度脱水。 本技术结构简单,操作方便,能够生产出高纯度的氩气,实用性强。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本技术; 图1为本技术的结构示意图。 【具体实施方式】 为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合【具体实施方式】,进一步阐述本技术。 参照图1,本【具体实施方式】采用以下技术方案:氩气纯化装置,包括吸气剂纯化器 1、气气换热器2、电热加热器3、气水换热器4、低温储罐5、室温汽化器6和减压装置7,吸气剂纯化器I分别与气气换热器2、电热加热器3相连,气气换热器2分别与气水换热器4和减压装置7相连,减压装置7通过室温汽化器6与低温储罐5相连。 值得注意的是,所述的气水换热器4还与冷却循环水装置相连。 此外,所述的低温储罐5还与吸附干燥器相连,能够对氩气进行深度脱水。 本【具体实施方式】的工作原理:采用催化反应法和金属吸气法,当仅仅=除去氩气中的氧气、二氧化碳、水杂质等,可采用催化吸附法,可提纯到ppm-ppb级的要求,若需要除去氩气中的氮气、THC时,采用金属吸气剂,采用本【具体实施方式】的装置可以将这些杂质全部去除,从而得到高纯度氩气。 本【具体实施方式】可以区熔晶硅炉配套使用于激光器、溅射、半导体生产,气象色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产
。 以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。【权利要求】1.氩气纯化装置,其特征在于,包括吸气剂纯化器(I)、气气换热器(2)、电热加热器(3)、气水换热器(4)、低温储罐(5)、室温汽化器(6)和减压装置(7),吸气剂纯化器(I)分别与气气换热器(2)、电热加热器(3)相连,气气换热器(2)分别与气水换热器(4)和减压装置(7)相连,减压装置(7)通过室温汽化器(6)与低温储罐(5)相连。2.根据权利要求1所述的氩气纯化装置,其特征在于,所述的气水换热器(4)还与冷却循环水装置相连。3.根据权利要求1所述的氩气纯化装置,其特征在于,所述的低温储罐(5)还与吸附干燥器相连。【文档编号】C01B23/00GK203922729SQ201420172040【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年4月10日 优先权日:2014年4月10日 【专利技术者】王绍洋 申请人:天津博利明科技有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
氩气纯化装置,其特征在于,包括吸气剂纯化器(1)、气气换热器(2)、电热加热器(3)、气水换热器(4)、低温储罐(5)、室温汽化器(6)和减压装置(7),吸气剂纯化器(1)分别与气气换热器(2)、电热加热器(3)相连,气气换热器(2)分别与气水换热器(4)和减压装置(7)相连,减压装置(7)通过室温汽化器(6)与低温储罐(5)相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王绍洋
申请(专利权)人:天津博利明科技有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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