电光调制器制造技术

本发明专利技术涉及一种电光调制器，其包括基底、Y型光波导、第一电极组及第二电极组。该基底包括一顶面。该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括相互平行的主分支及调制分支。该第一电极组与该第二电极组的结构相同。该第一电极组包括相互平行的第一电极及第二电极。该第一电极位于该调制分支上。该第二电极位于该调制分支远离该主分支的一侧。该第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极。该第三电极位于该主分支上。该第四电极位于该主分支远离该调制分支的一侧。该第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。本发明专利技术还涉及一种电光调制器的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种电光调制器，其包括基底、Y型光波导、第一电极组及第二电极组。该基底包括一顶面。该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括相互平行的主分支及调制分支。该第一电极组与该第二电极组的结构相同。该第一电极组包括相互平行的第一电极及第二电极。该第一电极位于该调制分支上。该第二电极位于该调制分支远离该主分支的一侧。该第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极。该第三电极位于该主分支上。该第四电极位于该主分支远离该调制分支的一侧。该第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。本专利技术还涉及一种。【专利说明】电光调制器
本专利技术涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。
技术介绍
目前的一种电光调制器利用电光效应通过调制电场改变Y型光波导的两个分支 之一的折射率，从而改变在其中传输的光束的相位，使之与Y型光波导另外一个分支中传 输的光束存在相位差。如此，Y型光波导两个分支中传输的光束重新汇聚后将发生干涉，输 出功率取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。由于现在仅针对其中一个分 支进行调制，因此所需的调制电压比较大，且调制效率低。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可减小调制电压且提高调制效率的电光调制器。 一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个第一电极组及一个第二 电极组。该基底包括一个顶面。该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括相 互平行的一个主分支及一个调制分支。该第一电极组与该第二电极组的结构相同。该第一 电极组包括相互平行的第一电极及第二电极。该第一电极位于该调制分支上，且该第一电 极的长度方向与该调制分支的长度方向相同。该第二电极位于该调制分支远离该主分支的 一侧。该第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极。该第三电极位于该主分支上， 且该第三电极的长度方向与该主分支的长度方向相同。该第四电极位于该主分支远离该调 制分支的一侧。该第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极 接地。 -种，其包括如下步骤： 提供一个基底，该基底包括一个顶面； 在该顶面上向该基底内部扩散形成一个Y型光波导，该Y型光波导包括该一个主分支 及一个调制分支；及 在该顶面上分别形成结构相同的该第一电极组及该第二电极组，其中该第一电极组包 括相互平行的第一电极及第二电极；该第一电极位于该调制分支上，且该第一电极的长度 方向与该调制分支的长度方向相同；该第二电极位于该调制分支远离该主分支的一侧；该 第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极，该第三电极位于该主分支上，且该第三 电极的长度方向与该主分支的长度方向相同，该第四电极位于该主分支远离该调制分支的 一侧；该第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。 与现有技术相比较，本专利技术的电光调制器及其制造方法，由于该第一电极组与该 第二电极组结构相同，使得该主分支及该调制分支内的光波的相位差能够同时进行调制， 且调制的幅度相同，因此所需的调制电压可减少50%，调制效率被提高。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术较佳实施方式的电光调制器的立体示意图。 图2是图1的电光调制器沿线II-II的剖面示意图。 图3是本专利技术较佳实施方式的的流程图。 主要元件符号说明 【权利要求】1. 一种电光调制器，其包括一个基底及一个Y型光波导；该基底包括一个顶面；该Y型 光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括相互平行的一个主分支及一个调制分支； 其特征在于，该电光调制器还包括结构相同的第一电极组及第二电极组，该第一电极组包 括相互平行的第一电极及第二电极；该第一电极位于该调制分支上，且该第一电极的长度 方向与该调制分支的长度方向相同；该第二电极相对于该调制分支远离该主分支；该第二 电极组包括相互平行的第三电极及第四电极，该第三电极位于该主分支上，且该第三电极 的长度方向与该主分支的长度方向相同，该第四电极相对于该主分支远离该调制分支；该 第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。2. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一电极与该第二电极的间距等 于该第三电极与该第四电极的间距，该第一电极、该第二电极、该第三电极及该第四电极的 结构相同。3. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一电极的宽度大于该调制分支 的宽度，该第三电极的宽度大于该主分支的宽度。4. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括一个隔离层，该 隔离层直接形成于该顶面上，该第一电极及该第三电极均形成在该隔离层上并与该Υ型光 波导相隔离。5. 如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该第二电极及该第四电极均形成在 该隔离层上。6. 如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料为铌酸锂晶体，该隔离 层的材料为二氧化硅。7. 如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该Υ型光波导包括一个入射段及一个 出射段；该主分支及该调制分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段；该主分支与该 入射段及该出射段形成直线的传输通道；该调制分支与该主分支平行；该Υ型光波导还包 括一个入射分叉及一个出射分叉；该入射分叉的一端与该主分支及该入射段连接，另一端 与该调制分支连接；该出射分叉的一端与该主分支及该出射段连接，另一端与该调制分支 连结；该出射分叉与该主分支之间的夹角与该入射分叉与该主分支之间的夹角相同。8. -种，其包括如下步骤： 提供一个基底，该基底包括一个顶面； 在该顶面上向该基底内部扩散形成一个Υ型光波导，该Υ型光波导包括一个主分支及 一个调制分支；及 在该顶面上分别形成结构相同的第一电极组及第二电极组，其中该第一电极组包括相 互平行的第一电极及第二电极；该第一电极位于该调制分支上，且该第一电极的长度方向 与该调制分支的长度方向相同；该第二电极相对于该调制分支远离该主分支；该第二电极 组包括相互平行的第三电极及第四电极，该第三电极位于该主分支上，且该第三电极的长 度方向与该主分支的长度方向相同，该第四电极相对于该主分支远离该调制分支；该第一 电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。9. 如权利要求8所述的，其特征在于，该电光调制器的制造方 法还包括步骤：在该顶面上直接形成一个隔离层，且该第一电极及该第三电极均形成在该 隔离层上并与该Υ型光波导隔离。10.如权利要求8所述的，其特征在于，该Y型光波导通过以下 步骤形成： 将厚度为700纳米的Υ型钛金属膜镀于该顶面；及 利用1020摄氏度的高温将该Υ型钛金属膜自该顶面扩散入该基底。【文档编号】G02F1/035GK104122680SQ201310155042【公开日】2014年10月29日 申请日期:2013年4月29日 优先权日:2013年4月29日 【专利技术者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光调制器，其包括一个基底及一个Y型光波导；该基底包括一个顶面；该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括相互平行的一个主分支及一个调制分支；其特征在于，该电光调制器还包括结构相同的第一电极组及第二电极组，该第一电极组包括相互平行的第一电极及第二电极；该第一电极位于该调制分支上，且该第一电极的长度方向与该调制分支的长度方向相同；该第二电极相对于该调制分支远离该主分支；该第二电极组包括相互平行的第三电极及第四电极，该第三电极位于该主分支上，且该第三电极的长度方向与该主分支的长度方向相同，该第四电极相对于该主分支远离该调制分支；该第一电极及该第四电极与一调制电源电连接，该第二电极及该第三电极接地。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄新舜，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44