【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术用于DBC基板的铜片预氧化装置,包括:支架,在所述支架的两端设有焊接架,在所述支架的两侧设有第一支点,所述第一支点的位于所述焊接架之间;挡板,所述挡板通过所述焊接架连接在所述支架的两端外侧,在所述挡板的内侧设有第二支点,所述第二支点与所述第一支点对应;散热排气孔,所述散热排气孔均匀设置在所述挡板的下部。本技术用于DBC基板的铜片预氧化装置在铜片架空氧化的基础上,通过在铜片两侧添加挡板,可有效阻止炉膛底部氧气影响铜片下表面(非烧结面)边缘。同时用支架取代氧化铝瓷条,并与两侧挡板构成一体,极大简化操作步骤。【专利说明】
本技术涉及半导体制造、LED、光通讯领域,特别适用于半导体制冷器、LED、功 率半导体等DBC基板制造,具体是涉及一种用于DBC基板的铜片预氧化装置。 用于DBC基板的铜片预氧化装置
技术介绍
直接覆铜陶瓷基板(DBC)在制备过程中,通常会将铜片进行预氧化处理,通过预 引入氧促进Cu-0共晶液生成,从而实现氧化铝陶瓷基板与铜片的结合。因此,为保证DBC 基板性能均一性,铜片表面氧化层需均匀且厚度可控。现有铜 ...
【技术保护点】
用于DBC基板的铜片预氧化装置,其特征在于,包括:支架,在所述支架的两端设有焊接架,在所述支架的两侧设有第一支点,所述第一支点的位于所述焊接架之间;挡板,所述挡板通过所述焊接架连接在所述支架的两端外侧,在所述挡板的内侧设有第二支点,所述第二支点与所述第一支点对应;散热排气孔,所述散热排气孔均匀设置在所述挡板的下部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李德善,贺贤汉,祝林,鲁瑞平,戴洪兴,
申请(专利权)人:上海申和热磁电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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