一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置，所述阀门装置至少包括：用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计；用于测量所述第二腔室的第二压力计；用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器，该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的；用于开启和关闭所述狭缝的阀门，该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号；当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号，从而将阀门打开；当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号，从而保持阀门关闭。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置
本技术属于半导体制造
，设计一种狭缝阀门装置，特别是涉及一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置。
技术介绍
在半导体制造工艺中，通常将真空腔室(如加载锁定、传送装置、处理腔室)排置为群集式、直列式或群集式/直列式的组合，以处理晶圆。这些系统可以采用单一基板或批式基板的方式来处理晶圆。在处理过程中，晶圆会在腔室之间传送，比如从传送室将晶圆传递到工艺室，所述腔室内必须维持或建立真空。为了允许晶圆进入腔室内部，并能够进行真空操作，通常在腔室与腔室之间的壁上穿设形状为狭缝的开口，用以容纳并传递待处理的晶圆。在真空腔室与真空腔室之间的各界面，可存在有狭缝阀组件。狭缝阀门为可移动地致动，以开启或关闭狭缝阀通道。当开启狭缝阀通道时，可允许一或多个晶圆通过所述狭缝而传送于两真空腔室之间。当狭缝阀门将狭缝阀通道关闭时，晶圆则无法通过狭缝阀通道而于二真空腔室之间传送，且二真空腔室为彼此隔离。举例来说，真空腔室的中的一个真空腔室为处理腔室，而所述处理腔室需与其它腔室(例如其它处理腔室或传送腔室)隔离。如图1和图2所示为现有技术中控制腔室间狭缝开关的阀门装置，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间的腔壁上设置有狭缝，其特征在于，所述阀门装置至少包括：用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计；用于测量所述第二腔室内部压力的第二压力计；用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器，该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的；用于开启和关闭所述狭缝的阀门，该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号；当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号，从而将阀门打开；当所述...

【技术特征摘要】
1.一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间的腔壁上设置有狭缝，其特征在于，所述阀门装置至少包括: 用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计； 用于测量所述第二腔室内部压力的第二压力计； 用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器，该压力信号处理器的输入端与所述第一压力计和第二压力计相连接的； 用于开启和关闭所述狭缝的阀门，该阀门与所述压力信号处理器的输出端相连接并接收所述压力信号处理器输出的控制信号；当所述第一腔室和第二腔室内部压力相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的开启的控制信号，从而将阀门打开；当所述第一腔室和第二腔室内部压力不相等时，所述阀门接收到所述压力信号处理器输出的关闭的控制信号，从而保持阀门关闭。2.根据权利要求1所述的控制腔室间狭缝开关的阀门装置，其特征在于:所述阀门至少包括结构: 阀门外壳，其内部为空腔，所述空腔被一隔板分为上腔体和下腔体；所述隔板上设置有连通所述上腔体和下腔体的第一孔；所述上腔体的上壁具有与所述第一孔对应第二孔； 电磁体，通过伸缩件与上腔体两侧的内壁相连接； 阀门杆，穿过所述第一孔和第二孔上下移动；所述阀门杆一端位于所述下腔体内、另...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐磊，桂鲲，袁洪，张恒，姜志磊，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11