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本实用新型提供一种控制腔室间狭缝开关的阀门装置,所述阀门装置至少包括:用于测量所述第一腔室内部压力的第一压力计;用于测量所述第二腔室的第二压力计;用于比较所述第一腔室和第二腔室内部压力是否相等、之后输出控制信号的压力信号处理器,该压力信号处...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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