机械泵防反油阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种机械泵防反油阀装置，包括机械泵、进口腔、支撑机构、防反油阀、弹簧和进口管道；机械泵与进口管道之间通过进口腔连接，进口管道设置在进口腔的上方；支撑机构固定在进口腔内；防反油阀通过弹簧与支撑机构连接，防反油阀通过进口腔内压力差，在弹簧的作用下，在支撑机构上做往复运动，实现自动隔离泵腔与进口管道。本发明专利技术的积极效果是：在类似活塞的防反油阀作用下，实现机械泵泵腔与进口管道的联通与隔离，解决机械泵应用于高真空泵组时容易出现的进口压力小于泵腔压力所导致的机械泵倒抽反油的现象。应用于真空镀膜领域可解决因油污污染基片导致的脱膜废品出现，提高产品成品率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种机械泵防反油阀装置，其特征在于，包括机械泵、进口腔、支撑机构、防反油阀、弹簧和进口管道；所述机械泵与所述进口管道之间通过所述进口腔连接，所述进口管道设置在所述进口腔的上方；所述支撑机构固定在所述进口腔内；所述防反油阀通过所述弹簧与所述支撑机构连接，所述防反油阀通过所述进口腔内压力差，在所述弹簧的作用下，在所述支撑机构上做往复运动，实现自动隔离泵腔与进口管道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏斌，李忠祥，
申请(专利权)人：北京物华天宝镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11