【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学辐射定标测量仪器领域，更具体地，涉及。
技术介绍
随着激光技术的不断发展及高科技激光产品(如激光加工机、激光治疗仪等)的不断出现，人们对激光光束质量的要求也越来越高，而在激光光束质量的测量评价中，衍射极限因子法即M2因子法是目前非常有用和常见的一种光束质量测量方法。市面上现有的激光光束质量测量仪器，如德国Cinogy公司的CinSquare光束质量因子(M2)测量系统，这套系统由可调衰减系统、聚焦镜、高精度的自动导轨以及CCD/CM0S光束分析仪等组成。为了确保最高的准确性和精确度，其全部的测量分析过程由Cinogy公司研发的软件RayCi自动跟踪控制。这虽然实现激光光束质量的自动测量，但是在更换激光器后，我们依然需要在光束的准直过程中花费大量的时间，这给我们的测量带来了极大的不便。
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本专利技术提供了一种测量激光光束质量的装置，其目的在于提高激光光束质量的测量精度；同时解决了现有技术中测量激光光束质量时需要在光束的准直过程中花费大量时间的技术问题。本专利技术提供了一种测量激光光束质量的装置，包括激光器，...
【技术保护点】
一种测量激光光束质量的装置，其特征在于，包括激光器(1)，图像采集模块(2)，反射镜(3)，全反射棱镜(4)，第一衰减片(5)，第二衰减片(6)，光束传输距离调节模块(7)，光束传输角度调节模块(8)和数据处理模块(9)；所述反射镜(3)与所述光束传输角度调节模块(8)固定连接，通过所述光束传输角度调节模块(8)调节所述反射镜(3)的偏转角度来控制光束传输角度；所述全反射棱镜(4)设置在光束传输距离调节模块(7)上，通过所述全反射棱镜(4)在所述光束传输距离调节模块(7)上移动来控制光束传输距离；所述第一衰减片(5)、所述第二衰减片(6)和所述图像采集模块(2)依次设置在所...
【技术特征摘要】
1.一种测量激光光束质量的装置，其特征在于，包括激光器(I)，图像采集模块(2)，反射镜(3)，全反射棱镜(4)，第一衰减片(5)，第二衰减片(6)，光束传输距离调节模块(7)，光束传输角度调节模块(8)和数据处理模块(9)； 所述反射镜(3)与所述光束传输角度调节模块(8)固定连接，通过所述光束传输角度调节模块(8)调节所述反射镜(3)的偏转角度来控制光束传输角度； 所述全反射棱镜(4)设置在光束传输距离调节模块(7)上，通过所述全反射棱镜(4)在所述光束传输距离调节模块(7)上移动来控制光束传输距离； 所述第一衰减片(5)、所述第二衰减片(6)和所述图像采集模块(2)依次设置在所述全反射棱镜(4)的反射光路上； 所述图像采集模块(2)、所述光束传输距离调节模块(7)和所述光束传输角度调节模块(8)分别与所述数据处理模块(9)连接； 所述激光器(I)输出的光束经所述反射镜(3)反射后入射至所述全反射棱镜(4)，经所述全反射棱镜(4)反射的光依次通过所述第一衰减片(5)和第二衰减片(6)后入射至所述图像采集模块(2); 所述图像采集模块(2)采集不同传输距离的光斑信号，数据处理模块(9)对光斑信号进行处理，当光斑饱和时反馈控制所述第二衰减片(6)对光斑强度进行调节；当光斑不饱和时，控制所述光束传输距离调节模块(7)对光束传输距离进行调节；判断光束是否准直，若否则控制传输角度调节模块(8)对光束传输角度进行调节；若是则获得光束质量参数。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数据处理模块(9)包括光斑饱和判断单元(91)、光斑参数计算单元(92)、第一控制单元(93)、角度计算单元(94)、第二控制单元(96)、准直判断单元(95)和光束质量参数计算单元(97)； 光斑饱和判断单元(91)用于接收所述图像采集模块(2)采集的光斑信号，并根据光斑信号的光强来判断光斑是否饱和，饱和时反馈控制所述第二衰减片(6)； 光斑参数计算单元(92)用于当光斑不饱和时计算光斑信号的中心值及光斑直径； 第一控制单元(93)用于当光斑不饱和时控制传输距离调节模块(7)调节光束传输距离； 角度计算单元(94)用于根据光斑信号的中心值和光束传输距离获得光束传输角度； 准直判断单元(95)用于将光束传输角度与设定的角度阈值进行比较； 第二控制单元(96)用于当光束传输角度大于角度阈值时，控制所述光束传输角度调节模块(8)对光束传输角度进行调节； 光束质量参数计算单元(97)用于当光束传输角度小于等于角度阈值时，根据光斑直径和光束传输距离获得光束质量参数。...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵茗，柯义，杨振宇，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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