【技术实现步骤摘要】
一种光束的微小位移测量设备
本技术涉及物理光学领域，尤其是涉及一种光束的微小位移测量设备。
技术介绍
微点位移测量是实现精加工的前提和基础，也一直是物理领域人们热衷研究的对象。对于光微小位移的测量，学科还处于技术发展阶段，在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势。目前国际上光微小位移的测量仪器虽然精度较高，但操作复杂，并且测量精度较差，只能测量到几百微米左右。我们基于古斯-汉欣位移效应的光束平移理论及方法，展开对微小位移的测量的研究。利用光的柱面反射推导出光微小位移计算公式，研究制作出的仪器，可将光微小位移精确测量微米级，大大提高测量的精度，为一些高精度研究要求提供技术支持，在实验应用上有着广泛的发展前景。
技术实现思路
本 技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种测量精度更高、更简便的光束的微小位移测量设备。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现—种实施光束的微小位移测量方法的测量设备，该设备包括激光发射器、三维移动平台、柱面镜及观测屏，所述的激光发射器设在三维移动平台上，所述的柱面镜与激光发射器位于同一高度，所述的观测屏位于激光发射器及柱面镜的侧面。所述的柱面镜设在支撑架上。所述的柱面镜为高反射率镀膜柱面镜。该测量设备还包括压缩光束装置，所述的压缩光束装置位于柱面镜与观测屏之间。由于光线经过反射后会变粗，影响测量精度，在反射光线经过的途中添加一个压缩光束装置，减少由光线变粗带来的误差。采用本技术的设备测量光束的微小位移，包括以下步骤(I)距离柱面镜中心线所在平面垂直距离Xtl处的激光投射到柱面镜上，通过柱面镜反射到观测屏上X1处；(2)激光发...
【技术保护点】
一种光束的微小位移测量设备，其特征在于，该设备包括激光发射器、三维移动平台、柱面镜及观测屏，所述的激光发射器设在三维移动平台上，所述的柱面镜与激光发射器位于同一高度，所述的观测屏位于激光发射器及柱面镜的侧面。
【技术特征摘要】
1.一种光束的微小位移测量设备，其特征在于，该设备包括激光发射器、三维移动平台、柱面镜及观测屏，所述的激光发射器设在三维移动平台上，所述的柱面镜与激光发射器位于同一高度，所述的观测屏位于激光发射器及柱面镜的侧面。2.根据权利要求1所述的一种光束的微小位移测量设备，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：张朝民，刘玲，曹丽杰，
申请(专利权)人：上海工程技术大学，
类型：实用新型
国别省市：
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