【技术实现步骤摘要】
安装模具
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种安装模具。
技术介绍
光刻是通过对准、曝光等一系列步骤将光罩上的目标图案转移到晶圆上的工艺过程。通常，光罩图案设置在其相对中部的位置，光罩边缘为无图案区域。如图5所示，在生产光罩时，此图案部分所在的面通常被覆盖上一层保护膜30，以起到保护作用，而在另一边的周边通常会设置固定装置20，使得光罩在使用时方便被固定住。在光罩生产过程中，一般是把固定装置20放在一固定槽中并在固定装置20表面涂上胶水，然后将贴完保护膜30的光罩按在所述固定装置20上以实现粘贴固定。但是在实际操作中，固定槽的位置通常大于固定装置的大小，而且固定槽的下方存在弹性件，胶水极易从固定装置表面漏到下方导致弹性件实效。综上所述，提供一种新式的安装模具并解决上述问题是十分必要的。
技术实现思路
本技术提供一种安装模具，包括用于放置一目标件的本体和用于放置一安装件的盖体，其中所述本体与所述盖体合并时能够将所述安装件安装到所述目标件上。进一步的，所述盖体上设置有盖体凹槽以放置所述安装件。进一步的，所述盖体凹槽的壁采用可吸附所述安装件的材料制成。进一步的，所述安装模...
【技术保护点】
一种安装模具，其特征在于：包括用于放置一目标件的本体和用于放置一安装件的盖体，其中所述本体与所述盖体合并时能够将所述安装件安装到所述目标件上。
【技术特征摘要】
1.一种安装模具，其特征在于:包括用于放置一目标件的本体和用于放置一安装件的盖体，其中所述本体与所述盖体合并时能够将所述安装件安装到所述目标件上。2.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于:所述盖体上设置有盖体凹槽以放置所述安装件。3.如权利要求2所述的安装模具，其特征在于:所述盖体凹槽的壁采用可吸附所述安装件的材料制成。4.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于:还包括设置于所述本体上的若干凸柱，以固定所述目标件。5.如权利要求4所述的安装模具，其特征在于:还包括设置于所述本体一侧的推送件，以推送所述目标件至所述凸柱固定。6.如权利要求1所述的安装模具，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：马俊，曹燕芳，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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