【技术实现步骤摘要】
远心扫描镜头
本技术涉及激光加工领域，尤其涉及用于紫外激光打微孔的远心扫描镜头。
技术介绍
现有的紫外激光加工设备通常使用非远心扫描镜头，从而在加工较深位置时，一方面，孔内部深度容易倾斜，孔形也不圆；另一方面，在加工物体离焦时，被加工位置和实际需要的加工位置存在偏移，从而无法达到加工的要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种远心扫描镜头，使用该远心扫描镜头可以保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。为实现以上技术目的，本技术采用如下技术方案:一种远心扫描镜头，用于激光打孔，所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95 晕米。作为本技术的进一步改进，所述第一透镜远离第二透镜的一侧面为凹面，靠近第二透镜的一侧面为平面，所述第二透镜靠近第一透镜的一侧面为凹面，靠近第三透镜的一侧面为凸面，所述第三透镜靠近第二透镜的一侧面为平面，靠近第四透镜的一侧面为凸面，所述第四透镜的两侧面均为凸面，所述第五透镜靠近第四透镜的一侧面为凸面，相对的另一侧面为平面。作为本技术的进一步改进，所述第一透镜的两个球面半径分别为-40.923毫米和354.791毫米，对应的两个厚度分别为5.000毫米和7.710毫米。作为本技术的进一步改进，所述第二透镜的两个球面半径分别为-94.768毫米和-72.256毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和0.500毫米。作为本技术的进一步改进，所述第三透镜的两个球面半径分别为2457.454毫米和-72.650毫米，对...
【技术保护点】
一种远心扫描镜头，用于激光打孔，其特征在于：所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。
【技术特征摘要】
1.一种远心扫描镜头，用于激光打孔，其特征在于:所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。2.如权利要求1所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第一透镜远离第二透镜的一侧面为凹面，靠近第二透镜的一侧面为平面，所述第二透镜靠近第一透镜的一侧面为凹面，靠近第三透镜的一侧面为凸面，所述第三透镜靠近第二透镜的一侧面为平面，靠近第四透镜的一侧面为凸面，所述第四透镜的两侧面均为凸面，所述第五透镜靠近第四透镜的一侧面为凸面，相对的另一侧面为平面。3.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第一透镜的两个球面半径分别为-40.923毫米和354.791毫米，对应的两个厚度分别为5.000毫米和7.710毫米。4.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第二透镜的两个球面半径分别为-94.768毫米和-72....
【专利技术属性】
技术研发人员：张宽，
申请(专利权)人：维嘉数控科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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