高密度激光器光学器件制造技术

提供用于高密度激光器光学器件的装置和方法。激光器光学器件装置的示例包括：在单体地集成的阵列中的多个垂直腔表面发射激光器(VCSEL)；高对比度光栅(HCG)，与该多个VCSEL中的每个的垂直腔的孔集成，以使能够发出多个激光发射波长中的单个激光发射波长；以及多个单模波导，每个与光栅耦合器集成，多个单模波导连接至多个集成的VCSEL和HCG中的每个，其中光栅耦合器中的每个对准至一集成的VCSEL和HCG。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高密度激光器光学器件
技术介绍
通过波导传输光已经被用于许多类型的通信应用。光信号相对于电子信号显现潜在优势。光源可以由包括诸如发光二极管和激光二极管之类的半导体器件在内的半导体器件制造。光纤用作光信号的传输介质。单条光纤能够在其内一次携带数个不同的调制信号。例如，波分复用可以将光纤的带宽分成不同的信道(例如，每个信道包含一小范围的波长)，因此可以一次传输数个不同的光波长(例如，信号)。使用这种系统需要不同波长的源。附图说明图1图示根据本公开的与高对比度光栅(HCG)集成的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的示例。图2图示根据本公开的与单模波导集成的光栅耦合器的示例。图3是根据本公开的与连接至具有HCG的集成VCSEL的光栅耦合器集成的单模波导的示例。图4图示根据本公开的与多个VCSEL集成的波分复用器的示例。图5图示根据本公开的与多个单体地集成的VCSEL阵列集成的波分复用器的示例。图6是图示根据本公开的受HCG的特定节距和特定占空比影响的由VCSEL发出的谐振波长的示例的图。图7图示根据本公开形成的激光器光学装置的示例。具体实施方式以每秒1兆兆比特以上的带宽操作的高速光互连，是以例如它本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高密度激光器光学器件装置，包括：在单体地集成的阵列中的多个第一垂直腔表面发射激光器(VCSEL)；高对比度光栅(HCG)，与所述多个第一VCSEL中的每个的垂直腔的孔集成，以使能够发出多个激光发射波长中的单个激光发射波长；以及多个单模波导，每个与光栅耦合器集成，所述多个单模波导连接至多个第一集成的VCSEL和HCG中的每个，其中所述光栅耦合器中的每个对准至一集成的VCSEL和HCG。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高密度激光器光学器件装置，包括：在第一单体地集成的阵列中的多个第一垂直腔表面发射激光器；在分立的第二单体地集成的阵列中的多个第二垂直腔表面发射激光器；高对比度光栅，与所述多个第一垂直腔表面发射激光器和所述多个第二垂直腔表面发射激光器中的每个的垂直腔的孔集成，以使能够发出多个激光发射波长中的单个激光发射波长；以及多个单模波导，每个与光栅耦合器集成，所述多个单模波导连接至多个第一集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅以及多个第二集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅中的每个，其中所述光栅耦合器中的每个对准至一集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅，其中所述多个第一垂直腔表面发射激光器中的每个被配置为产生与被配置为由所述多个第二垂直腔表面发射激光器产生的第二范围内的波长离散的第一范围内的波长。2.根据权利要求1所述的装置，其中每个高对比度光栅使所述多个第一垂直腔表面发射激光器和所述多个第二垂直腔表面发射激光器中的每个能操作在单模下，以发出离散的激光发射波长。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述多个单模波导包括波分复用器，所述波分复用器对各个离散的激光发射波长进行集成以在单个光波导中输出。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述波分复用器是硅平台上的硅石平面光波电路。5.一种高密度激光器光学器件装置，包括：在多个分立的单体地集成的阵列中的多个垂直腔表面发射激光器；高对比度光栅，与所述多个垂直腔表面发射激光器中的每个的垂直腔的孔集成，以使能够发出多个激光发射波长中的单个激光发射波长，其中所述多个激光发射波长各自以1纳米至20纳米的范围间隔开；以及多个单模波导，每个与光栅耦合器集成，所述多个单模波导连接至多个集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅中的每个，其中所述光栅耦合器中的每个对准至一集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅，其中在第一分立的阵列中的多个垂直腔表面发射激光器中的每个被配置为产生与被配置为由在其他分立的阵列中的其他垂直腔表面发射激光器产生的多个其他范围内的波长离散的第一范围内的波长。6.根据权利要求5所述的装置，其中所述光栅耦合器中的每个自对准至所述一集成的垂直腔表面发射激光器和高对比度光栅。7.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·瑞恩·泰·谭，戴维·A·法塔勒，韦恩·V·瑟林，沙吉·V·马塔尔，
申请(专利权)人：惠普发展公司，有限责任合伙企业，
类型：发明
国别省市：美国;US