一种半导体立式炉的保温桶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体立式炉的保温桶，包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片，其特征在于，所述保温桶还包括一石英中空壳体，所述中空壳体与所述石英板同心设置，所述支撑杆一端连接所述石英板，另一端连接所述中空壳体。本实用新型专利技术通过将石英片层结构与中空壳体结构有机结合的设计，未增加保温桶的体积，且石英片数量少于同类产品，拆卸非常方便，既有较好的保温效果，又能减少其自身的储热能力，不会对微环境的温度变化造成不利影响，可以提高底部硅片膜厚的均匀性。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种半导体立式炉的保温桶
本专利技术涉及一种半导体立式炉的保温装置，更具体地，涉及一种用于硅片加工的半导体立式炉的保温桶。
技术介绍
立式炉是用于半导体硅片加工的一种工艺设备。硅片加工是一种非常精密的工艺，温度是硅片加工工艺中非常重要的指标，直接影响硅片膜厚的厚度和均匀性。为保证立式炉热反应管内温度的稳定，并提高保温效果，在立式炉内设置了保温桶。在工艺中，保温桶位于炉体热反应管的下部，用于支撑石英舟，并且提供保温的功效。而在工艺结束后，保温桶随石英舟下降到微环境，其自身的热容量会影响到微环境的温度变化，因此，这时又需要保温桶具有较小的储热能力。中国专利技术专利申请CN101552198A300mm立式氧化炉保温桶，公开了一种保温桶的结构设计形式，在通过支撑杆连接的上、下石英板之间，横向均匀设置有多片固定安装在支撑杆上的石英片，石英片包覆有OP材料，起到提高保温效果的作用。该专利技术保温桶的储热能力较高，在工艺中起到了较好的保温效果；但在工艺结束后，保温桶下降到微环境时，其高的热容量反而会影响到微环境的温度变化，对工艺过程产生不利影响。因此，该专利技术结构设计的缺陷是保温桶的散本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体立式炉的保温桶，包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片，其特征在于，所述保温桶还包括一石英中空壳体，所述中空壳体与所述石英板同心设置，所述支撑杆一端连接所述石英板，另一端连接所述中空壳体。

【技术特征摘要】
1.一种半导体立式炉的保温桶，包括底部石英板、竖直安装在石英板上的若干支撑杆、水平安装在支撑杆上的若干石英片，其特征在于，所述保温桶还包括一石英中空壳体，所述中空壳体与所述石英板同心设置，所述支撑杆一端连接所述石英板，另一端连接所述中空壳体。2.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形石英真空密闭壳体。3.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体的侧面设有若干通孔。4.如权利要求1所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形，侧面设有若干通孔，所述通孔按轴对称分布。5.如权利要求1、3或4所述的保温桶，其特征在于，所述中空壳体为圆柱形，侧面设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张骏，柳文涛，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11