【技术实现步骤摘要】
一种磁性流体密封装置多气体通道结构
本技术涉及一种工程元件或部件的密封装置，尤其是涉及一种磁性流体密封装置多气体通道结构。
技术介绍
磁性流体密封是利用在外加磁场作用下磁流体具有承受压力差的能力而实现的密封，具有密封性能好、密封结构寿命长、可靠性高、传输相率高、传递速度高、无污染等特性，在需要在真空腔体内导入工艺气体、电流、冷却介质等场合，常使用空心轴的磁性流体密封装置，现有的真空CVD生产设备中需要在真空腔体中通入多种工艺气体，并同时将动力传入正空腔体中，单一的磁性流体密封装置结构无法满足此种需求。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供一种可在保持真空度的前提下，根据传动轴的大小可同时输入2?7中工艺气体的磁性流体密封装置多气体通道结构。为了达到本技术的目的，技术方案如下:一种磁性流体密封装置多气体通道结构，包括同轴壳体、磁密封部件、磁性传动轴和轴承，所述磁密封部件设在磁性传动轴的两侧，所述磁密封部件两侧的轴承用于固定磁性传动轴和同轴壳体，其特征在于:所述磁性传动轴两侧的同轴壳体腔体内各设有3?8组磁密封部件，所述相邻两磁密封部件内各设有中空的隔圈，所述磁性传动轴内设有2?7个L型真空通道，所述真空通道一端连通磁性传动轴大气侧的轴端出口，另一端连通隔圈的下端端口。作为优选的技术方案:所述同轴壳体上设有与隔圈上端端口位置相贯通的真空接□。作为优选的技术方案:还包括卡套管接头，所述卡套管接头与真空接口配合连接。作为优选的技术方案:所述卡套管接头的数量与真空通道的数量相同，所述卡套管接头可根据外部配套设备要求与真空接口在任意位置配合连接。本技术的有益效果为:此...
【技术保护点】
一种磁性流体密封装置多气体通道结构，包括同轴壳体（10）、磁密封部件（20）、磁性传动轴（30）和轴承（40），所述磁密封部件（20）设在磁性传动轴（30）的两侧，所述磁密封部件（20）两侧的轴承（40）用于固定磁性传动轴（30）和同轴壳体（10），其特征在于：所述磁性传动轴（30）两侧的同轴壳体（10）腔体内各设有3～8组磁密封部件（20），相邻两所述磁密封部件（20）内各设有中空的隔圈（50），所述磁性传动轴（30）内设有2～7个L型真空通道（60），所述真空通道（60）一端连通磁性传动轴（30）大气侧的轴端出口（31），另一端连通隔圈（50）的下端端口（51）。
【技术特征摘要】
1.一种磁性流体密封装置多气体通道结构，包括同轴壳体(10)、磁密封部件(20)、磁性传动轴(30 )和轴承(40 )，所述磁密封部件(20 )设在磁性传动轴(30 )的两侧，所述磁密封部件(20)两侧的轴承(40)用于固定磁性传动轴(30)和同轴壳体(10)，其特征在于:所述磁性传动轴(30)两侧的同轴壳体(10)腔体内各设有3?8组磁密封部件(20)，相邻两所述磁密封部件(20)内各设有中空的隔圈(50)，所述磁性传动轴(30)内设有2?7个L型真空通道(60)，所述真空通道(60)—端连通磁性传动轴(30)大气侧的轴端出口(31)，另一端连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林宏之，
申请(专利权)人：埃慕迪磁电科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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