图案检查装置及图案检查方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
图案检查装置及图案检查方法
本专利技术涉及对透明基材上的图案进行检查的图案检查装置及图案检查方法。
技术介绍
在制造智能手机等中利用的触摸屏时，在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）薄膜等的透明薄膜上形成金属配线图案。作为引线的金属配线图案形成在触摸屏的外缘部上，与形成在作为触摸屏的画面的中央部上的透明电极图案相连接。近年来，为了增大触摸屏的画面，进行将外缘部上的金属配线图案的图案要素形成得更细小的研究。在该情况下，为了在与以往相同的条件下将相同大小的电流施加到金属配线图案上，通过将金属配线图案的厚度设置得比以往大（增大高宽比）来保持图案要素的截面面积。此外，在日本特开昭62-119444号公报（文献1）、日本特开2006-72147号公报（文献2）及日本特开2006-105816号公报（文献3）中，公开了如下的检查基材上的图案的方法，即，通过获取反射图像和透过图像来检查基材上的图案，该反射图像基于照射至透明基材的一侧主表面上的光的反射光而形成，该透过图像基于照射至基材的另一侧主表面上的光的透过光而形成。但是，金属配线图案是例如通过局部蚀刻金属薄膜来形成的。此时，根据蚀...
【技术保护点】
一种图案检查装置，用于检查透明基材上的图案，其特征在于，包括：第一光源部，将光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面延伸的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于所述反射光而形成的第一反射...
【技术特征摘要】
2013.02.15 JP 2013-0282171.一种图案检查装置，用于检查透明基材上形成的图案，其特征在于，包括：第一光源部，将光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案的上表面反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面延伸的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于由所述图案的所述上表面反射的所述反射光而形成的第一反射图像和基于所述透过光而形成的透过图像；检查部，通过比较所述第一反射图像和所述透过图像，获取所述第一反射图像示出的所述图案的所述上表面的边缘位置与所述透过图像示出的所述图案下表面的边缘位置之间的差，由此，作为检查结果获取所述图案的下端的变粗量。2.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，所述第一受光部，是用于获取在所述透明基材上与所述移动方向交叉的线状区域的图像的线传感器；由所述线传感器交替获取所述第一反射图像的线状图像和所述透过图像的线状图像。3.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，还具有一个第二受光部，该第二受光部接受所述第二光源部的光中被所述图案的所述下表面反射的反射光，由此获取第二反射图像，其中，所述图案的所述下表面是与所述一侧主表面接触的面。4.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，还具有一个第二受光部，该第二受光部接受所述第二光源部的光中被所述图案的所述下表面反射的反射光，由此获取第二反射图像，其中，所述图案的所述下表面是与所述一侧主表面接触的面。5.如权利要求1至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，所述图案由金属形成。6.一种图案检查...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤原成章，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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