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本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。在该图案检查装置上设有：第一光源部（331），将光照射至透明基材（9）的形成有图案的一侧主表面（91）上；第二光源部（332），将光照射至另一侧主表面（92）上；一个第一受光部（341），接受第一光源部...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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