本发明专利技术的真空热处理装置(100、200)，具备：诱导板(160)，当绝热容器(120)的至少2个开口(126)处于开放的状态时，使由冷却装置(150)送出的冷却介质穿过绝热容器(120)的2个开口(126)之中的一个开口(126)而诱导到绝热容器(120)内；以及移动机构(170)，使诱导板(160)移动，以在绝热容器(120)的2个开口(126)处于开放的状态时，使诱导板(160)的至少一部分插入盖部(130)的移动空间(134)，并且，在用于封闭绝热容器(120)的2个开口(126)的盖部(130)移动之前，使诱导板(160)从盖部(130)的移动空间(134)退避。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空热处理装置
本专利技术涉及在真空状态下加热被处理物的真空热处理装置。
技术介绍
为了提高钢的硬度，一般进行将钢加热至指定温度、然后冷却的所谓淬火处理。具体而言，首先在I大气压下加热至911°C?1392°c之间的温度，从而使钢变为奥氏体。接着急剧冷却奥氏体而使之变为马氏体。这样提高钢的硬度。在进行淬火等的热处理时，利用真空热处理装置。真空热处理装置成为包含真空炉的双重结构，该真空炉在内部具备配置被处理物的绝热容器。在利用真空热处理装置进行热处理的情况下，首先，打开真空炉及绝热容器，在该绝热容器配置被处理物，接着关闭真空炉而使内部成为真空状态。如果达到真空状态，则关闭绝热容器，加热被处理物。在经过指定时间之后，打开绝热容器，并且向真空炉的炉内及绝热容器内导入冷却介质，冷却配置在绝热容器的被处理物。在如上所述地利用真空热处理装置冷却被处理物的情况下，将冷却介质导入到绝热容器内。此时，如果冷却介质未遍布于整个绝热容器内，则有时候不均匀地进行被处理物的冷却。例如，在进行作为被处理物的钢的热处理的情况下，淬火出现差异，有可能钢的硬度变得不均匀。此外，在进行作为被处理物的不锈钢的热处理的情况下，有可能发生敏化。已公开了一种为了冷却被处理物，向真空炉内导入氮气，利用风扇使该氮气在绝热容器内循环，并且冷却从绝热容器排出的氮气，再次导入到绝热容器内的真空热处理装置(例如，参照专利文献I)。在专利文献I记载的真空热处理装置中，为了向绝热容器高效地引导氮气，在真空炉的内壁固定有风向引导叶片。现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开平5-230528号公报。【
技术实现思路
】专利技术要解决的课题 在专利文献I记载的绝热容器，形成有用于在铅垂上下的面使氮气循环的开口，此外，设有通过相对该开口滑动而开放或封闭开口的滑动门。风向引导叶片的位置越靠近绝热容器的开口，就越能弓I导氮气而使之更加均匀地遍布于整个绝热容器内。但是，如果仅将风向引导叶片靠近绝热容器的开口，则有可能在移动滑动门时干涉滑动门。所以，必须在避开滑动门的移动空间的位置等的、从绝热容器的开口隔开距离的位置固定风向引导叶片。结果，专利文献I的技术中，有时候难以引导氮气而使之遍布于整个绝热容器内。此外，在滑动门的移动空间之外，必须需要用于设置风向引导叶片的空间，有可能使真空热处理装置本身大型化。本专利技术鉴于这样的课题，目的在于提供一种真空热处理装置，能够以简易的构成，以遍布于整个绝热容器的方式导入冷却介质，并且有效活用真空炉内的空间而谋求装置本身的小型化。用于解决课题的方案 依据本专利技术的第I方式，真空热处理装置，具备:真空炉，能够减压至真空状态；绝热容器，设于真空炉内，收纳被处理物，并且具有至少2个开口 ；加热部，设于绝热容器内，加热被处理物；盖部，在加热部加热被处理物的期间，至少使绝热容器的2个开口成为封闭的状态；以及冷却装置，将冷却介质冷却并送出，并将送出的冷却介质回收。此外，该真空热处理装置，还具备:诱导板，当绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使由冷却装置送出的冷却介质穿过绝热容器的2个开口之中的一个开口而诱导到绝热容器内；以及移动机构，使诱导板移动，以在绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使诱导板的至少一部分插入盖部的移动空间，并且，在用于封闭绝热容器的2个开口的盖部移动之前，使诱导板从盖部的移动空间退避。依据本专利技术的第2方式，在上述第I方式的真空热处理装置中，上述移动机构通过旋转诱导板，从而使诱导板插入移动空间，或者，使诱导板从移动空间退避。依据本专利技术的第3方式，在上述第I或第2方式的真空热处理装置中，上述诱导板具有--第I引导部，能够插入盖部的移动空间，使沿着与绝热容器的形成有上述一个开口的面平行的方向流动的冷却介质碰撞而引导到绝热容器内；以及第2引导部，将冷却介质引导到第I引导部。依据本专利技术的第4方式，在上述第I至第3中的任一方式的真空热处理装置中，还具备整流板，该整流板比从上述冷却装置送出的冷却介质的流动方向上的、上述一个开口设于上游侧，遮蔽沿着 与绝热容器的形成有上述一个开口的面平行的方向流动并直接朝向上述一个开口的冷却介质。依据本专利技术的第5方式，在上述第4方式的真空热处理装置中，上述整流板在面临冷却介质的流动方向的上游侧的面的中央部具有突出部。此外，上述整流板，形成为整流板的与冷却介质的流动方向正交的方向的截面积随着从突出部朝向冷却介质的流动方向的下游侧而逐渐增加。专利技术效果 依据本专利技术，能够以简易的构成，以遍布于整个绝热容器的方式导入冷却介质，并且，有效活用真空炉内的空间而谋求装置本身的小型化。【附图说明】图1是用于说明本专利技术的第I实施方式中的真空热处理装置的侧剖视图； 图2是图1的I1-1I线上的剖视图； 图3是在执行搬入处理、减压处理及非活性气体填充处理时的真空热处理装置的平面首丨J视图; 图4是用于说明执行冷却处理时的真空热处理装置的侧剖视图； 图5是执行冷却处理时的真空热处理装置的平面剖视图； 图6是用于说明诱导板的形状的立体图； 图7是用于说明第I循环方向的冷却介质的流动的侧剖视图； 图8是用于说明本专利技术的第2实施方式中的真空热处理装置的侧剖视图； 图9是真空热处理装置的平面剖视图。【具体实施方式】以下，一边参照附图，一边详细地说明本专利技术的最佳实施方式。所涉及的实施方式所示的尺寸、材料、其它具体数值等，只不过是便于理解专利技术的示例，除了特别声明的情况之外，并不限定本专利技术。再者，在本说明书及附图中，对于具有实质上相同的功能、构成的要素，标注相同的符号，从而省略重复说明，此外与本专利技术无直接关系的要素，有时候省略图/Jn ο(第I实施方式) 图1是用于说明第I实施方式中的真空热处理装置100的侧剖视图，图2是图1的I1-1I线上的剖视图。如图1、图2所示，真空热处理装置100是在单室内对于被处理物W进行加热处理及冷却处理的、所谓单室型真空热处理装置。真空热处理装置100包括真空炉110、绝热容器120、盖部130、加热部140、冷却装置150、诱导板160、移动机构170而构成。真空炉110形成为大体圆筒形状，以在真空炉110内的压力状态变化的情况下，也能承受该压力。本实施方式中的真空炉110以其圆筒的中心轴沿水平方向(图1、图2中的X轴方向)延伸的方式被多个支柱IlOa固定、支撑。此外，在真空炉110设有门112，当门112处于封闭的状态时，真空炉110内成为密闭空间。而且，在真空炉110连接有图中未显示的真空泵，在门112被封闭的状态下，由真空泵使真空炉110内减压到真空状态。此外，在真空炉110连接有图中未显示的非活性气体供给装置，该非活性气体供给装置为了防止被处理物W的氧化、着色而向真空炉110内供给非活性气体。非活性气体供给装置供给的非活性气体，用作用于冷却被处理物W的冷却介质。具体而言，非活性气体供给装置具备将非活性气体加压输送至真空炉110内的加压输送单元和测量真空炉110内的压力的测量单元。作为非活性气体，能列举例如氮(N2)气、氩(Ar)气、氦(He)气等或者它们的混合气体。而且，在真空炉110设有划分真空炉110内的空间的挡板114、116。挡板114在图1中设于YZ平面上，是将真空本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空热处理装置，具备：真空炉，能够减压至真空状态；绝热容器，设于所述真空炉内，收纳被处理物，并且具有至少2个开口；加热部，设于所述绝热容器内，加热所述被处理物；盖部，在所述加热部加热所述被处理物的期间，至少使所述绝热容器的2个开口成为封闭的状态；冷却装置，将冷却介质冷却并送出，并将送出的所述冷却介质回收；诱导板，当所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使由所述冷却装置送出的冷却介质穿过所述绝热容器的2个开口之中的一个开口而诱导到所述绝热容器内；以及移动机构，使所述诱导板移动，以在所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使所述诱导板的至少一部分插入所述盖部的移动空间，并且，在用于封闭所述绝热容器的2个开口的所述盖部移动之前，使所述诱导板从所述盖部的移动空间退避。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.28 JP 2011-2885391.一种真空热处理装置，具备: 真空炉，能够减压至真空状态； 绝热容器，设于所述真空炉内，收纳被处理物，并且具有至少2个开口； 加热部，设于所述绝热容器内，加热所述被处理物； 盖部，在所述加热部加热所述被处理物的期间，至少使所述绝热容器的2个开口成为封闭的状态； 冷却装置，将冷却介质冷却并送出，并将送出的所述冷却介质回收； 诱导板，当所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使由所述冷却装置送出的冷却介质穿过所述绝热容器的2个开口之中的一个开口而诱导到所述绝热容器内；以及 移动机构，使所述诱导板移动，以在所述绝热容器的2个开口处于开放的状态时，使所述诱导板的至少一部分插入所述盖部的移动空间，并且，在用于封闭所述绝热容器的2个开口的所述盖部移动之前，使所述诱导板从所述盖部的移动空间退避。2.根据权利要求1所述的真空热处理装置，其中，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：胜俣和彦，木屋登，永井规辉，平本升，
申请(专利权)人：株式会社IHI，IHI机械系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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