阴极发光信号采集装置制造方法及图纸

一种侧进入透射电子显微镜支架包括从试样(130)采集阴极发光并将阴极发光有效耦合到并入所述托架的倾斜光纤(120)中的微型倾斜偏轴椭球镜(110)。该设计兼容所述支架的低温操作。透射电子显微镜试样对电子束部分透明，因此，试样上方和下方均能发光。偏轴镜和倾斜光纤的相同原理可用于采集试样上方和下方发出的光，但适合插入角度计及窄间隙极片之间操作所需的有限空间。可采用双重系统对比试样上方发出的光和下方发出的发光，从而提高分析技术的多功能性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】阴极发光信号采集装置相关申请的交叉引用本PCT专利申请要求根据《美国法典》第35卷第120条于2011年12月I日申请的名称为“APPARATUS FOR COLLECTION OF CATHODOLUMINESCENCE SIGNALS (阴极发光信号采集装置)”的13/086，952号申请的利益，其全部公开内容以引用的方式并入本文。
本专利技术涉及电子显微镜学领域，尤其涉及采集阴极发光信号。
技术介绍
由于光采集光学器件具有较大信号且更容易接近试样，阴极发光(CL)在扫描电子显微镜(SEM)中成为一种更成熟的技术。因为高倍放大工作、高千伏研究、使用其他补充分析技术(例如衍射和电子能量损失谱)的可能性，阴极发光在透射电子显微镜(扫描透射电子显微镜模式)中很重要。在历史上，已通过偏轴抛物柱面镜实现在透射电子显微镜中有效采集阴极发光(CL)，其中偏轴抛物柱面镜通过侧真空窗提供直接光耦合。将试样保持在所述镜的焦点处时，光准直且能耦合至其他透射或检测仪器。然而，这种方法仅限于带宽极片间隙(例如大于6_)及将镜设置在试样上方的其他适当端口的透射电子显微镜。因为受电子束刺激的体积小，透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在电子显微镜中采集电子辐射下试样的阴极发光的装置，包括：有试样平面的试样的托架；光采集镜；有表面的光纤传输电缆；其中：所述光采集镜包括用于采集所述试样光的反射椭球表面，所述椭球表面包括椭球的一部分，所述椭球在所述试样处具有第一焦点，在所述光纤电缆表面具有第二焦点；所述椭球在所述焦点之间有轴线，所述轴线相对于所述试样平面倾斜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.01 US 13/309,0261.一种在电子显微镜中采集电子辐射下试样的阴极发光的装置，包括: 有试样平面的试样的托架； 光采集镜； 有表面的光纤传输电缆；其中: 所述光采集镜包括用于采集所述试样光的反射椭球表面，所述椭球表面包括椭球的一部分，所述椭球在所述试样处具有第一焦点，在所述光纤电缆表面具有第二焦点； 所述椭球在所述焦点之间有轴线，所述轴线相对于所述试样平面倾斜。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述光纤传输电缆的所述表面倾斜，以优化采集效率。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述光纤传输电缆为单硅芯高数值孔径光纤。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述光纤传输电缆的数值孔径约为0.37。5.根据权利要求3所述的装置，其中所述光纤传输电缆的芯线尺寸约为4_。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：西蒙·加洛韦，大卫·J·史杜威，理查德·文斯，利瓦伊·毕青，约翰·布莱，
申请(专利权)人：盖恩有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US