CO2激光装置及CO2激光加工装置制造方法及图纸

得到一种CO2激光装置及CO2激光加工装置，其射出高输出、且光束直径稳定而不依赖于重复频率的脉冲激光。具有：激光气体(G)，其成为CO2激光介质；近同心型的稳定型光共振器，其将至少1个共振器反射镜的曲率半径设置为与从光开关至共振器反射镜为止的距离相等；光开关，其设置在稳定型光共振器内；以及传输反射镜(51～56)，其设置为使从稳定型光共振器产生的激光(41)再次通过CO2激光介质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】CO2激光装置及CO2激光加工装置
本专利技术涉及一种CO2激光装置及CO2激光加工装置，其从激光振荡器(内含增益介质的光共振器)产生CO2激光(以下简称为“激光”)。
技术介绍
当前，提出了一种CO2激光器，其从内含增益介质的光共振器产生激光(例如，参照专利文献I)。专利文献I中记载的CO2激光装置具有:壳体，其将包含有CO2的气体增益介质收容在内部；激光共振器，其包含高反射体及输出耦合器；激发装置，其激发增益介质；以及声光(AO)单元，其配置在激光共振器中，该CO2激光装置利用AO单元将激光共振器在高损耗状态和低损耗状态之间进行切换，生成Q开关脉冲，但激光输出被限制为小于或等于声光单元的耐光功率(例如，几百W)。专利文献1:日本特表2010 - 534923号公报
技术实现思路
现有的CO2激光装置如专利文献I记载所示，由于激光输出被限制为小于或等于声光单元的耐光功率(例如，几百W)，因此，存在难以得到高输出激光的课题。另外，如果脉冲激光的重复频率变化，则声光单元的热学状态变化，因此，存在光束直径依赖于重复频 率而变化的课题。本专利技术就是为了解决上述课题而提出的，目的在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CO2激光装置，其具有：CO2激光介质；光共振器，所述CO2激光介质置于该光共振器中；光开关，其设置在所述光共振器内；以及传输反射镜，其对从所述光共振器向所述光共振器的外部射出的激光进行反射，该CO2激光装置的特征在于，所述光共振器由近同心的稳定型光共振器构成，将构成所述光共振器的至少1个共振器反射镜的曲率半径设定为与从所述光开关至所述共振器反射镜为止的距离相等，所述传输反射镜设置为使所述激光再次通过所述CO2激光介质。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.07 JP 2011-2682641.一种CO2激光装置，其具有: CO2激光介质； 光共振器，所述CO2激光介质置于该光共振器中； 光开关，其设置在所述光共振器内；以及 传输反射镜，其对从所述光共振器向所述光共振器的外部射出的激光进行反射， 该CO2激光装置的特征在于， 所述光共振器由近同心的稳定型光共振器构成， 将构成所述光共振器的至少I个共振器反射镜的曲率半径设定为与从所述光开关至所述共振器反射镜为止的距离相等， 所述传输反射镜设置为使所述激光再次通过所述CO2激光介质。2.根据权利要求1所述的CO2激光装置，其特征在于， 所述传输反射镜由多个传输反射镜构成，该多个传输反射镜以所述CO2激光介质的不同位置依次存...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷野阳一，西前顺一，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP