折反射式光刻照明中继镜组制造技术

一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明专利技术具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。

【技术实现步骤摘要】
折反射式光刻照明中继镜组
[0001 ] 本专利技术涉及光刻照明，特别是用于光刻照明系统的一种折反射式光刻照明中继镜组。
技术介绍
光刻照明系统是光刻机的重要组成部分，为光刻机提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，从而提高光刻分辨率和增大焦深。中继镜组作为光刻照明系统的关键单元，将中间平面成像到掩模板上，为掩模板提供均匀照明。在步进扫描光刻机中，通过在中间平面放置扫描狭缝选择不同的工作视场，利用中继镜组1:1成像从而严格控制掩模板上的照明区域。为了减小扫描狭缝和掩模板的位置误差对放大倍率的影响，照明物镜必须采用双远心结构。同时，随着光刻曝光视场的不断增大，中继镜组在保证足够数值孔径的前提下具有很小的畸变。为了增大焦深和减少套刻误差，必须校正中继镜组的球差和场曲。所以，中继镜组具有大数值孔径、高远心度、低像差等特点，其性能直接决定了光刻照明系统的照明均匀性。目前最常见的光刻照明中继镜组采用全折射结构。在先技术[I](参见Mark Oskotsky.Lev Ryzhikov 等.Advanced illumination system for use inmicrolit本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于该镜组由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，其位置关系是：沿光束入射方向，依次是所述的折射透镜组、孔径光阑、球面反射镜阵列，且所述的折射透镜组、孔径光阑和球面反射镜阵列相对光轴呈轴对称放置，所述的孔径光阑设置在所述的球面反射镜阵列附近，所述的孔径光阑的中心与球面反射镜阵列的中心重合；在垂直于入射光并在折射透镜组的左边一定距离处放置平面反射镜，该平面反射镜的法线与光轴成45°夹角，该平面反射镜的中心与光轴的距离和物面中心与光轴的距离相等。

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于该镜组由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，其位置关系是:沿光束入射方向，依次是所述的折射透镜组、孔径光阑、球面反射镜阵列，且所述的折射透镜组、孔径光阑和球面反射镜阵列相对光轴呈轴对称放置，所述的孔径光阑设置在所述的球面反射镜阵列附近，所述的孔径光阑的中心与球面反射镜阵列的中心重合；在垂直于入射光并在折射透镜组的左边一定距离处放置平面反射镜，该平面反射镜的法线与光轴成45°夹角，该平面反射镜的中心与光轴的距离和物面中心与光轴的距离相等。2.根据权利要求1所述的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于所述的折射透镜组由依次的第一透镜、第二透镜、第三透镜组成，所述的第一透镜和第二透镜在折射光路中将入射光...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠杰，方瑞芳，曾爱军，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31