【技术实现步骤摘要】
磁性轴承装置及真空泵
本专利技术涉及一种磁性轴承(magnetic bearing)装置、及具备磁性轴承装置的真空泵(pump)。
技术介绍
如磁性轴承型涡轮(turbo)分子泵般在利用磁性轴承装置非接触支撑旋转体(转子(rotor))的装置中，为了使转子悬浮维持在规定的目标位置，而基于转子的悬浮位置与目标位置的偏差(移位)，实时(real time)地反馈控制(feedback control)电磁铁的磁吸引力(电磁铁电流)。关于移位的检测，利用专用的移位传感器进行检测的方式占主流，但近年来，为了小型化、低价格化及提升可靠性，无传感器型(sensorless type)(自传感型(self sensingtype))的装置正在实用化，该装置省略专用传感器，并且使产生悬浮控制力的电磁铁不仅具有现有的致动器(actuator)功能,也兼具传感(sensing)功能(电感(inductance)方式)。电感方式中，对专用传感器或电磁铁线圈(coil)施加高频载波(传感器载波(sensor carrier)),利用因悬浮间隙(gap)所引起的电感变化对传感器载波...
【技术保护点】
一种磁性轴承装置，由电磁铁非接触支撑被支撑体，其特征在于包括：正弦波离散值生成部，通过数字运算处理而生成正弦波离散值；载波生成部，基于所述正弦波离散值而生成载波信号；移位检测部，根据所述被支撑体的支撑位置来对所述载波信号进行调制并输出调制波信号；模数转换部，在将所述载波信号的频率设为fc时，以满足fc＝(n+1/2)·fs的取样频率fs，其中n为0以上的整数，且以与所述正弦波离散值同步的规定时序，将所述调制波信号模数转换为数字信号；及解调运算部，基于模数转换后的所述数字信号而进行解调运算；及控制部，基于所述解调运算部的解调运算结果而控制所述电磁铁的电流，从而控制所述被支撑体...
【技术特征摘要】
2013.02.06 JP 2013-0216811.一种磁性轴承装置，由电磁铁非接触支撑被支撑体，其特征在于包括: 正弦波离散值生成部，通过数字运算处理而生成正弦波离散值； 载波生成部，基于所述正弦波离散值而生成载波信号； 移位检测部，根据所述被支撑体的支撑位置来对所述载波信号进行调制并输出调制波信号; 模数转换部，在将所述载波信号的频率设为fc时，以满足fc = (n+1/2).fs的取样频率fs，其中η为O以上的整数，且以与所述正弦波离散值同步的规定时序，将所述调制波信号模数转换为数字信号；及 解调运算部，基于模数转换后的所述数字信号而进行解调运算；及控制部，基于所述解调运算部的解调运算结果而控制所述电磁铁的电流，从而控制所述被支撑体的支撑位置；且 所述规定时序是取样时序成为所述载波信号的最大波峰位置附近时序及成为最小波峰位置附近的时序， 所述解调运算部在将于所述最大波峰位置附近取样的所述数字信号的数据值设为dl，且将在所述最小波峰位置附近取样的所述数字信号的数据值设为d2时，输出通过d3 =(dl-d2)/2而计算出的值d3作为所述解调运算结果。2.根据权利要求1所述的磁性轴承装置，其特征在于: 所述最大波峰位置附近设定为以所述最大波峰位置为中心的载波周期(Ι/fc)的1/4周期的相位范围，且 所述最小波峰位置附近设定为以所述最小波峰位置为中心的载波周期(Ι/fc)的1/4周期的相位范围。3.根据权利要求1或2所述的磁性轴承装置，其特征在于: 所述解调运算部在每次取样所述数据值dl、所述数据值d2时，输出基于利用该取样而获得的数据值、与利用其之前的取样而获得的数据值的所述值d3。4.根据权利要求1或2所述的磁性轴承装置，其特征在于: 所述解调运算部在 每次取样所述数据值dl、所述数据值d2中的任一者时，输出基于利用该取样而获得的数据值、与利用其之前的取样而获得的数据值的所述值d3。5.一种磁性轴承装置，其特征在于包括: 一对电磁铁，设置在多个控制轴的各者，且相对于旋转轴而对向配置； 载波生成部，生成用以侦测所述...
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