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本发明是关于一种磁性轴承装置及真空泵，可实现磁性轴承控制中的移位信息的信噪比提升。磁性轴承装置包括：正弦波离散值生成部，生成正弦波离散值；数模转换器，对正弦波离散值进行数模转换而生成载波信号；传感器，根据转子轴的支撑位置来对载波信号进行调制...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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