光测量装置制造方法及图纸

提供一种不需要进行反射镜的扫描、且不使用波长扫描型光源和分光器而能够获取测定对象的像的小型且廉价的光测量装置。将从光源(401)出射的激光分支为第1光束和第2光束，将第1光束作为信号光通过透镜(406)向测定对象(409)聚光照射，将第2光束不向测定对象照射而作为参照光在反射镜(411)上反射，将通过测定对象反射或散射的信号光与参照光合波后入射到干涉光学系统(412)，生成相位关系互不相同的三个以上的干涉光并由光检测器(417、422)进行检测，由信号处理部(424)运算检测信号。在测定时至少在光轴方向上扫描透镜(406)的第1光束的聚光位置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光测量装置，其特征在于，具有：光源，出射激光；光分支部，将所述激光分支为第1光束和第2光束；透镜，将所述第1光束作为信号光向测定对象聚光照射；光反射部，将所述第2光束不向测定对象照射而作为参照光反射；扫描部，至少在光轴方向上扫描所述第1光束的聚光位置；干涉光学系统，将通过测定对象反射或散射的信号光与所述参照光合波，生成相位关系互不相同的三个以上的干涉光；以及多个光检测器，检测所述干涉光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大泽贤太郎，渡辺康一，富田大辅，
申请(专利权)人：日立视听媒体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP