一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器，其特征在于：设置一柔性印刷电路板，在印刷电路板上印刷有一呈正方形的公共电极和等间距位于公共电极各边外围的四个相同的矩形感应电极；各感应电极以公共电极的中心为对称点两两对称；在柔性印刷电路板上固定有一复合多介质层；复合多介质层由呈倒凹形的PDMS介质层及位于PDMS层凹槽内的空气介质层构成；复合多介质层扣合在柔性印刷电路板的上方，公共电极及四个感应电极位于空气介质层内；在复合多介质层上设置有PDMS半球形触头。本发明专利技术变介质式电容柔性三维力触觉传感器公共电极及各感应电极位于同一平面上，与传统上下电极结构的电容式触觉传感器相比，具有制作工艺简单，易于阵列化的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器
本专利技术属于传感
，涉及一种应用于人工智能皮肤的三维力触觉传感器。
技术介绍
触觉传感器在机器人领域的地位是举足轻重的，机器人依靠触觉传感器可以精确的感知外部信息，实现与外界环境的良好互动。特别是柔性多维触觉传感器，可以作为机器人的柔性敏感皮肤，更好的满足当前迅速发展的各种服务机器人的要求，实现良好的人机互动，更好地为人类服务。除此之外，触觉传感器在体育训练、康复医疗和人体生物力学等诸多领域均有广泛应用。在这些领域中非结构化的环境对触觉技术提出了更高的要求，具有良好的柔韧性和三维力检测性能的传感器已经成为智能机器人技术的一个重要研究领域。目前国内外已经研制出多种用于机器人皮肤三维力触觉传感器。例如:台湾国立大学的Chih-Chieh Wen等人用高分子压阻复合膜设计研制了传感范围和灵敏度可调整的三轴触觉传感器；伦敦大学的Pinyo Puangmali等人设计了基于光波原理的能够检测三维力的触觉传感器，该传感器利用光的变化量来检测基底材料三维方向上的位移的变化，利用方程构建位移和三维力之间的关系；东京大学的S.Wattanasa本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器，其特征在于：设置一柔性印刷电路板，在所述印刷电路板上印刷有一呈正方形的公共电极和等间距位于所述公共电极各边外围的四个相同的矩形感应电极；各感应电极以公共电极的中心为对称点两两对称；在所述柔性印刷电路板上固定有一复合多介质层；所述复合多介质层由呈倒凹形的PDMS介质层及位于PDMS层凹槽内的空气介质层构成；复合多介质层扣合在所述柔性印刷电路板的上方，所述公共电极及四个感应电极位于空气介质层内；在所述复合多介质层上设置有PDMS半球形触头。

【技术特征摘要】
1.一种变介质式电容柔性三维力触觉传感器，其特征在于:设置一柔性印刷电路板，在所述印刷电路板上印刷有一呈正方形的公共电极和等间距位于所述公共电极各边外围的四个相同的矩形感应电极；各感应电极以公共电极的中心为对称点两两对称； 在所述柔性印刷电路板上固定有一复合多介质层；所述复合多介质层由呈倒凹形的PDMS介质层及位于PDMS层凹槽内的空气介质层构成；复合多介质层扣合在所述柔性印刷电路板的上方，所述公共电极及四个感应电极位于空气介质层内；在所述复合多介质层上设置有PDMS半球形触头。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄英，袁海涛，刘彩霞，刘平，张玉刚，郭小辉，李雷鸣，邱世华，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34