【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置。装置包括石墨支架、石墨板、石墨滑块和石墨盖板,石墨板上有衬底槽和母液收集槽，衬底和垫片叠放在衬底槽内。其特征在于：通过控制垫片与衬底的厚度，使其总厚度略小于衬底槽的深度，从而有利于母液刮除并不会划伤衬底表面；在石墨板上有一个母液收集槽，使得生长结束后，尚未冷却的液态母液可以被有效收集，不会回流到衬底表面。通过以上的改进，可以有效减少外延材料表面的残留母液。【专利说明】一种减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置
本专利技术涉及碲镉汞薄膜材料的液相外延生长技术，特别是指一种能减少碲镉汞液相外延材料表面粘液的生长装置。
技术介绍
碲镉汞是制造红外探测器的重要材料，可以通过调节材料的成分比例来改变材料的光学吸收带系，从而制造出不同响应波长的红外探测器。生长碲镉汞材料的方法有很多种，比如:体单晶生长方法、分子束外延、有机金属气相外延、液相外延等。其中，液相外延是一种很成熟的外延生长技术，液相外延的原理是饱和溶液在处于过冷状态的衬底上定向结晶而形成薄膜。液相外延可以分为三种工艺:垂直浸溃法、倾...
【技术保护点】
一种减少碲镉汞液相外延材料表面沾液的生长装置，其结构为：石墨板（3）固定在石墨支架（4）上，石墨盖板（1）与石墨滑块（2）用石墨螺丝固定，石墨滑块（2）相对于石墨板（3）可左右移动，石墨滑块（2）上开有容纳母液（8）的母液槽（9），其特征在于：所述的石墨板（3）的厚度为3～4毫米，上面开有放置氮化硼垫片（6）和衬底（7）的衬底槽（5），石墨板（3）上还开有母液收集槽（10），衬底槽（5）位于母液收集槽（10）的右侧，两者之间的距离大于4毫米，母液收集槽(10)的长和宽比衬底槽(5)的长和宽均大2mm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：魏彦锋，杨建荣，张娟，孙权志，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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