衬底支撑模块制造技术

本发明专利技术提供一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得支撑物的至少一部分垂直地穿过平台，并且支撑物经配置以通过升高和降低运动在平台上装载和卸载衬底；下部旋转机构，放置在平台内部，并且具有面向彼此安装的第一和第二下部旋转构件，支撑物安置在中央，并且第一和第二下部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在平台内部的下部旋转机构上方，并且具有面向彼此安装的第一和第二上部旋转构件，支撑物安置在中央，第一和第二上部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得支撑物的至少一部分垂直地穿过平台，并且支撑物经配置以通过升高和降低运动在平台上装载和卸载衬底；下部旋转机构，放置在平台内部，并且具有面向彼此安装的第一和第二下部旋转构件，支撑物安置在中央，并且第一和第二下部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在平台内部的下部旋转机构上方，并且具有面向彼此安装的第一和第二上部旋转构件，支撑物安置在中央，第一和第二上部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转。【专利说明】衬底支撑模块
本专利技术涉及一种衬底支撑模块(module),尤其涉及一种能防止一个装载和卸载衬底用的支撑物受到损坏并且能够延长支撑物的使用寿命的衬底支撑模块。
技术介绍
总体上，一种用于对衬底进行退火的准分子激光退火(Excimer LaserAnnealing, ELA)设备包括:腔室；衬底支撑模块，所述衬底支撑模块放置在所述腔室内部并且衬底安放并支撑在所述衬底支撑模块上面；激光产生器，所述激光产生器放置在所述腔室外部并且产生激光束；透射窗口，所述透射窗口被提供在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得所述支撑物的至少一部分垂直地穿过所述平台，并且所述支撑物经配置以通过升高和降低运动在所述平台上装载和卸载所述衬底；下部旋转机构，放置在所述平台内部，并且具有第一下部旋转构件和第二下部旋转构件，所述第一下部旋转构件和所述第二下部旋转构件面向彼此安装，所述支撑物安置在中央，并且所述第一下部旋转构件和第二下部旋转构件经配置以抵靠所述支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在所述平台内部的所述下部旋转机构上方，并且具有第一上部旋转构件和第二上部旋转构件，所述第一上部旋转构件和所述第二上部旋转构件面向彼此安装，所述支撑物安置在中央，并...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：金贤中，李基雄，金圣进，车恩熙，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：