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本发明提供一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得支撑物的至少一部分垂直地穿过平台，并且支撑物经配置以通过升高和降低运动在平台上装载和卸载衬底；下部旋转机构，放置在平台内部，并且具有面向彼此安装的第一和第二下...
该专利属于AP系统股份有限公司;三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司;三星显示有限公司授权不得商用。

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