一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子制造技术

本实用新型专利技术涉及一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子，属于超声波电机制造技术领域。该压电振子由双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)、压电叠堆-金属复合弹性梁(3)、质量块(4)、环行接触体(5)和基座(6)组成。双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)和压电叠堆-金属复合弹性梁(3)与质量块(4)在空间上构成T型结构。当给压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的压电叠堆(301)、双压电晶片悬臂梁A(1)和B(2)的压电陶瓷施加相位差为90°的同频率、同幅值交流电压时，环行接触体(5)产生往复轴向和绕其中心轴扭转的合成振动，该振动推动转子作旋转运动。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子，属于超声波电机制造
。该压电振子由双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)、压电叠堆-金属复合弹性梁(3)、质量块(4)、环行接触体(5)和基座(6)组成。双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)和压电叠堆-金属复合弹性梁(3)与质量块(4)在空间上构成T型结构。当给压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的压电叠堆(301)、双压电晶片悬臂梁A(1)和B(2)的压电陶瓷施加相位差为90°的同频率、同幅值交流电压时，环行接触体(5)产生往复轴向和绕其中心轴扭转的合成振动，该振动推动转子作旋转运动。【专利说明】 一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子
本技术涉及一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子，可以实现精密驱动与定位功能，属于超声波电机制造的
。技术背景超声波电机利用压电陶瓷的逆压电效应将电能转化为电机定子的振动，然后通过电机定子和转子之间的摩擦耦合驱动电机转子作旋转(或直线)运动。超声波电机具有结构紧凑、低速大力矩、响应速度快、控制特性好、不受电磁干扰、定位精度高、噪声小、可直接驱动负载等优点，广泛应用于国防、军事、工业、医疗以及国民生产生活等各个领域。国内外有较多的专利申请涉及压电超声波电机及压电振子，典型的压电超声波电机压电振子结构主要是环行、纵扭复合型等机构，这些压电振子结构复杂，加工工艺烦琐，如环行行波型超声波的压电振子表面加工了几十个齿状结构，纵扭复合型超声波电机通过设计结构复杂的压电振子以便调谐纵振模态和扭振模态的频率一致性。另外，该电机的纵振动模态和扭转振动模态难以独立控制，造成电机驱动控制器的设计烦琐复杂。复杂结构的压电振子使得上述超声波电机难以微型化，不利于在空间尺寸要求比较严格的领域(如微驱动技术)的应用。
技术实现思路
本技术提出一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子，该振子结构简单，便于加工制作；且振子的纵振动模态和弯曲/扭转振动模态可以分别独立控制。本技术采用的实施方案是:该超声波电机压电振子由双压电晶片悬臂梁A(I)、双压电晶片悬臂梁B(2)、压电叠堆-金属复合弹性梁(3)、质量块(4)、环行接触体(5)和基座(6)组成。双压电晶片悬臂梁A(I)由正向极化压电陶瓷(101)和负向极化压电陶瓷(103)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(102)的前、后表面，形成夹心结构；双压电晶片悬臂梁B(2)由负向极化压电陶瓷(201)和正向极化压电陶瓷(203)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(202)的前、后表面，形成夹心结构；双压电晶片悬臂梁A(I)的左端与基座(8)固定，右端与质量块(4)相连。双压电晶片悬臂梁B(2)的右端与基座(6)固定，左端与质量块(4)相连。压电叠堆-金属复合弹性梁(3)由压电叠堆(301)通过环氧树脂胶与金属弹性体(302)相连成一体，压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的上端与质量块(4)相连，下端固定在基座(7)上。双压电晶片悬臂梁A(I)、双压电晶片悬臂梁B(2)和压电叠堆-金属复合弹性梁(3)与质量块(4)在空间上构成T型结构。当给叠堆式压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的压电叠堆(301)施加超声频域的正弦交流电压V1时，压电叠堆(301)产生沿其轴线的上下伸缩振动，该振动通过金属弹性体(302)的放大作用后，推动质量块(4)和环行接触体(5) —起作上、下往复振动。当环行接触体(5)作向上的振动时，迫使环行接触体(5)与转子压紧接触。当给双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)的压电陶瓷施加一个与V1同频率、同幅值的余弦交流电压V2W，双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)同时作等幅、反向的弯曲振动。双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)的反向弯曲振动作用在质量块(4)上，形成一个扭转力矩，该扭转力矩驱动质量块(4)和环行接触体(5)产生绕其中心轴的扭转运动。环行接触体(5)同时作上下往复纵振动和绕其中心轴的扭转运动，两者合成后，在环行接触体(5)的表面质点产生椭圆运动轨迹，该轨迹推动转子作旋转运动。本技术采用的实施方案是:电机压电振子工作模态选择压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的一阶纵振动模态、双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)的一阶弯曲振动模态。本技术采用的实施方案是:电机压电振子的工作频率为18880Hz。【专利附图】【附图说明】图1是本技术的总体结构剖面示意图；图2是本技术的总体结构俯视图；图3是本技术的三维实体视图；图4是本技术的压电振子一阶纵振动形变图；图5是本技术的压电振子一阶弯曲/扭转振动形变图；图6是压电振子环行接触体(5)表面质点的椭圆运动轨迹图。【具体实施方式】 如图1、2和3所示，一种纵-弯-扭转复合型旋转式超声波电机压电振子由双压电晶片悬臂梁(I)、双压电晶片悬臂梁(2)、压电叠堆-金属复合弹性梁(3)、质量块(4)、环行接触体(5)和基座(6)组成。双压电晶片悬臂梁A(I)由正向极化压电陶瓷(101)和负向极化压电陶瓷(103)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(102)的前、后表面，形成夹心结构；双压电晶片悬臂梁B(2)由负向极化压电陶瓷(201)和正向极化压电陶瓷(203)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(202)的前、后表面，形成夹心结构；双压电晶片悬臂梁A(I)的左端与基座(8)固定，右端与质量块(4)相连。双压电晶片悬臂梁B(2)的右端与基座(6)固定，左端与质量块(4)相连。压电叠堆-金属复合弹性梁(3)由压电叠堆(301)通过环氧树脂胶与金属弹性体(302)相连成一体，压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的上端与质量块(4)相连，下端固定在基座(7)上。双压电晶片悬臂梁A(I)、双压电晶片悬臂梁B(2)和压电叠堆-金属复合弹性梁(3)与质量块(4)在空间上构成T型结构。本技术实施方式中，当给压电叠堆-金属复合弹性梁(3)的压电叠堆(301)施加超声频域的正弦交流电压V1时，压电叠堆(301)产生沿其轴线的上下伸缩振动，该振动通过金属弹性体(302)的放大作用后，推动质量块(4)和环行接触体(5) —起作上、下往复振动，如图4所示。当环行接触体(5)作向上的振动时，迫使环行接触体(5)与转子压紧接触。当给双压电晶片悬臂梁A(I)、双压电晶片悬臂梁B(2)的压电陶瓷施加一个与V1同频率、同幅值的余弦交流电压^时，双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)同时作等幅、反向的弯曲振动，如图5所示。双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)的反向弯曲振动作用在质量块(4)上，形成一个扭转力矩，该扭转力矩驱动质量块(4)和环行接触体(5)产生绕其中心轴的扭转运动。当同时双压电晶片悬臂梁A(I)和双压电晶片悬臂梁B(2)的压电陶瓷、压电叠堆-金属复合弹性体(3)的压电叠堆(301)分别施加两个幅值、频率一致但相位差为90°的正弦交流信号时，环行接触体(5)同时作上下往复纵振动和绕其中心轴的扭转运动，两者合成后，在环行接触体(5)的表面质点产生椭圆运动轨迹，该轨迹推动转子作旋转运动。本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纵?弯?扭转复合型旋转式超声波电机压电振子，其特征在于：该超声波电机压电振子由双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)、压电叠堆?金属复合弹性梁(3)、质量块(4)、环行接触体(5)和基座(6)组成；双压电晶片悬臂梁A(1)由正向极化压电陶瓷(101)和负向极化压电陶瓷(103)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(102)的前、后表面，形成夹心结构；双压电晶片悬臂梁B(2)由负向极化压电陶瓷(201)和正向极化压电陶瓷(203)通过环氧树脂胶粘接在金属基体(202)的前、后表面，形成夹心结构；压电叠堆?金属复合弹性梁(3)由压电叠堆(301)通过环氧树脂胶与金属弹性体(302)相连成一体；双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)和压电叠堆?金属复合弹性梁(3)与质量块(4)在空间上构成T型结构；当给压电叠堆?金属复合弹性梁(3)的压电叠堆(301)施加超声频域的正弦交流电压，给双压电晶片悬臂梁A(1)、双压电晶片悬臂梁B(2)的压电陶瓷施加与V1同频率、同幅值的余弦交流电压V2时，环行接触体(5)同时作上下往复纵振动和绕其中心轴的扭转运动，两者合成后，在环行接触体(5)的表面质点产生椭圆运动轨迹，该轨迹推动转子作旋转运动。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王光庆，
申请(专利权)人：浙江工商大学，
类型：实用新型
国别省市：