具有低微调敏感度的温度补偿谐振器装置及制造所述装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种具有低微调敏感度的温度补偿谐振器装置及制造所述装置的方法。温度补偿体声波BAW谐振器装置具有低微调敏感度以用于提供精确谐振频率。所述BAW谐振器装置包含：第一电极，其沉积在衬底上；压电层，其沉积在所述第一电极上；第二电极，其沉积在所述压电层上；及镜对，其沉积在所述第二电极上。所述第一电极及所述第二电极中的至少一者包含电极层及温度补偿层，所述温度补偿层经配置以补偿至少所述压电层的温度系数。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有低微调敏感度以用于提供精确谐振频率的温度补偿体声波BAW谐振器装置，所述装置包括：第一电极，其安置在衬底上；压电层，其安置在所述第一电极上；第二电极层，其安置在所述压电层上；及声镜对，其安置在所述第二电极上，其中所述第一电极及所述第二电极中的至少一者包括：电极层；及温度补偿层，其经配置以补偿至少所述压电层的温度系数。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：志强·毕，理查德·C·鲁比，
申请(专利权)人：安华高科技通用IP新加坡公司，
类型：发明
国别省市：新加坡;SG