显示装置以及电子设备制造方法及图纸

技术编号:10050538 阅读:119 留言:0更新日期:2014-05-15 21:15
本发明专利技术涉及显示装置以及电子设备,本发明专利技术的目的之一是抑制晶体管的电特性的变动并提高可靠性。本发明专利技术的一个方式的显示装置包括:像素部104;以及设置在所述像素部的外侧的驱动电路部106,其中所述像素部包括:像素晶体管252;覆盖所述像素晶体管的包括无机材料的第一绝缘膜124;设置在所述第一绝缘膜上且包括有机材料的第二绝缘膜126;以及设置在所述第二绝缘膜上且包括无机材料的第三绝缘膜130,所述驱动电路部包括:对所述像素晶体管供应信号的驱动晶体管250;覆盖所述驱动晶体管的所述第一绝缘膜;以及形成在所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,并且,所述驱动电路部包括在所述第二绝缘膜上没有形成所述第三绝缘膜的区域或所述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种显示装置以及一种电子设备。
技术介绍
近年来,对使用液晶面板的显示装置或使用有机EL面板的显示装置的研究开发日益火热。这种显示装置被粗分为如下两种:一是,只将像素控制用晶体管(像素晶体管)形成在衬底上,而扫描电路(驱动电路)被包括在外围IC中的显示装置;二是,将像素晶体管和扫描电路都形成在同一衬底上的显示装置。为了实现显示装置的窄边框化或外围IC的成本降低,使用驱动电路整合型显示装置是较有效的。但是,用于驱动电路的晶体管的电特性需要高于用于像素晶体管的晶体管的电特性(例如,场效应迁移率(μFE)或阈值电压等)。作为能够应用于晶体管的半导体薄膜,硅类半导体材料被广泛地周知。此外,作为其他材料,氧化物半导体引人注目(例如,专利文献1、2)。例如,作为用于晶体管的半导体薄膜,使用其电子载流子浓度低于1018/cm3且包含铟(In)、镓(Ga)及锌(Zn)的非晶氧化物的晶体管引人注目。因为将氧化物半导体用于半导体层的晶体管的场效应迁移率高于将作为硅类半导体材料的非晶硅用于半导体层的晶体管,所以其工作速度快,适合用于驱动电路整合型显示装置,并且其制造工序比将多晶硅用于半导体层的晶体管更容易。但是,将氧化物半导体用于半导体层的晶体管有如下问题:氢、水分等杂质侵入氧化物半导体而导致载流子的产生,使得该晶体管的电特性中之一的阈值电压变动。[专利文献1]日本专利申请公开2007-123861号公报[专利文献2]日本专利申请公开2007-096055号公报为了充分地保持在氧化物半导体层形成沟道的晶体管的电特性,重要的是:从该氧化物半导体层尽量去除氢、水分等。特别是,当将在氧化物半导体层形成沟道的晶体管用于显示装置的像素部和设置在该像素部的外侧的驱动电路部的双方时,虽然根据驱动方法而不同,但是因为用于驱动电路部的晶体管的电负荷大于用于像素部的晶体管,所以用于驱动电路部的晶体管的电特性很重要。此外,在将在氧化物半导体层形成沟道的晶体管用于像素部及驱动电路部的显示装置中,当进行高温高湿环境下的可靠性测试时产生的用于驱动电路部的晶体管(也称为驱动晶体管)的劣化成为问题。该驱动晶体管劣化的原因是:可能从为了减少晶体管的凹凸设置的有机材料释放出的水分等不能释放到外部而进入氧化物半导体层,使得该氧化物半导体层的载流子密度增高。此外,上述驱动晶体管劣化的其他原因之一是因为从显示装置外部侵入的水分进入驱动晶体管的氧化物半导体层。
技术实现思路
于是,本专利技术的一个方式的课题之一是:在将在氧化物半导体层形成沟道的晶体管用于像素部及驱动电路部的显示装置中,抑制该晶体管的电特性的变动并提高可靠性。特别是,本专利技术的一个方式的课题之一是:防止氢、水分进入用于驱动电路部的晶体管的氧化物半导体层来抑制电特性的变动并提高可靠性。优选使可能从设置在驱动晶体管上的有机材料释放出的水分等杂质扩散到外部。更具体而言,在有机材料及设置在该有机材料上的无机材料中设置开口部,经由该开口部使包含在有机材料中的水分等杂质扩散到外部。此外,在该开口部的整体中,平衡可能从显示装置外部侵入到有机材料中的水分和可能从该有机材料释放出的水分来抑制进入驱动晶体管的氧化物半导体层的水分。下面说明本专利技术的各种方式。本专利技术的一个方式是一种显示装置,包括:像素部;以及设置在所述像素部的外侧的驱动电路部,其中,所述像素部包括:像素晶体管;覆盖所述像素晶体管的包括无机材料的第一绝缘膜;设置在所述第一绝缘膜上且包括有机材料的第二绝缘膜;以及设置在所述第二绝缘膜上且包括无机材料的第三绝缘膜,所述驱动电路部包括:对所述像素晶体管供应信号的驱动晶体管;覆盖所述驱动晶体管的所述第一绝缘膜;以及形成在所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,并且,所述驱动电路部包括在所述第二绝缘膜上没有形成所述第三绝缘膜的第一区域或所述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的第二区域。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述驱动电路部包括:形成在所述第二绝缘膜上的所述第三绝缘膜;以及形成在所述第三绝缘膜中的开口部,并且所述第一区域或所述第二区域位于所述开口部之下。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述驱动电路部中的所述开口部形成在所述驱动晶体管上。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:上述本专利技术的一个方式还包括设置在所述驱动电路部的外侧的非显示区域,其中所述非显示区域包括形成在所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,并且所述非显示区域包括在所述第二绝缘膜上没有形成所述第三绝缘膜的第三区域或所述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的第四区域。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述驱动电路部包括:形成在所述第二绝缘膜上的覆盖所述驱动晶体管的所述第三绝缘膜;以及形成在所述第三绝缘膜中的开口部,并且在离所述驱动晶体管的沟道形成区域的中心200μm以内的范围形成所述开口部的端部。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述驱动电路部包括:形成在所述第二绝缘膜上的覆盖所述驱动晶体管的所述第三绝缘膜;以及形成在离所述驱动晶体管的沟道形成区域的中心200μm以内的区域范围的所述第三绝缘膜的端部。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述像素晶体管和所述驱动晶体管都在氧化物半导体层中形成沟道。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述像素晶体管和所述驱动晶体管都包括:栅电极;形成在所述栅电极上的氧化物半导体层;以及形成在所述氧化物半导体层上的源电极及漏电极。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述氧化物半导体层是包含选自氧化铟、氧化锡和氧化锌中的至少一种氧化物的层。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述氧化物半导体层是In-Ga-Zn类氧化物半导体层。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述氧化物半导体层包括结晶部,并且所述结晶部的c轴在平行于所述氧化物半导体层的被形成面的法线向量的方向上一致。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述第一绝缘膜是包含氧或氮的硅膜。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述第一绝缘膜是氧化硅膜和氮化硅膜的叠层结构。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述第一绝缘膜是氧氮化硅膜和氮化硅膜的叠层结构。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述氮化硅膜在高温下形成。在上述本专利技术的一个方式中,优选的是:所述第二绝缘膜是丙烯本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种显示装置,包括:像素部,该像素部包括:像素晶体管;包括无机材料且覆盖所述像素晶体管的第一绝缘膜;所述第一绝缘膜上的包括有机材料的第二绝缘膜;以及所述第二绝缘膜上的包括无机材料的第三绝缘膜;以及所述像素部的外部的驱动电路部,该驱动电路部包括:对所述像素晶体管供应信号的驱动晶体管;覆盖所述驱动晶体管的所述第一绝缘膜;以及所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,其中,所述驱动电路部包括所述第三绝缘膜不形成在所述第二绝缘膜上的第一区域或所述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的第二区域。

【技术特征摘要】
2012.10.30 JP 2012-2389181.一种显示装置,包括:
像素部,该像素部包括:
像素晶体管;
包括无机材料且覆盖所述像素晶体管的第一绝缘膜;
所述第一绝缘膜上的包括有机材料的第二绝缘膜;以及
所述第二绝缘膜上的包括无机材料的第三绝缘膜;以及
所述像素部的外部的驱动电路部,该驱动电路部包括:
对所述像素晶体管供应信号的驱动晶体管;
覆盖所述驱动晶体管的所述第一绝缘膜;以及
所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,
其中,所述驱动电路部包括所述第三绝缘膜不形成在所述第二绝
缘膜上的第一区域或所述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的第二
区域。
2.根据权利要求1所述的显示装置,
所述驱动电路部包括:
所述第二绝缘膜上的所述第三绝缘膜;以及
所述第三绝缘膜中的开口部,
其中所述第一区域或所述第二区域位于所述开口部之下。
3.根据权利要求2所述的显示装置,其中在所述驱动电路部中,
所述开口部形成在所述驱动晶体管上。
4.根据权利要求1所述的显示装置,包括所述驱动电路部的外部
的非显示区域,
所述非显示区域包括:
所述第一绝缘膜上的所述第二绝缘膜,以及
所述第三绝缘膜不形成在所述第二绝缘膜上的第三区域或所
述第二绝缘膜不被所述第三绝缘膜覆盖的第四区域。
5.根据权利要求1所述的显示装置,
所述驱动电路部包括:
所述第二绝缘膜上的覆盖所述驱动晶体管的所述第三绝缘
膜;以及
所述第三绝缘膜中的开口部,
其中所述开口部的端部位于离所述驱动晶体管的沟道形成区域的
中心200μm以内的范围。
6.根据权利要求1所述的显示装置,
所述驱动电路部包括:
所述第二绝缘膜上的覆盖所述驱动晶体管的所述第三绝缘
膜;以及
位于离所述驱动晶体管的沟道形成区域的中心200μm以内的
范围的所述第三绝缘膜的端部。
7.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述像素晶体管和所述
驱动晶体管的沟道都形成在氧化物半导体层中。
8.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述像素晶体管和所述
驱动晶体管都包括栅电极、所述栅电极上的氧化物半导体层以及所述
氧化物半导体层上的源电极及漏电极。
9.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:肥塚纯一岛行德保坂泰靖冈崎健一松尾拓哉森重恭神崎庸辅松木园广志
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所夏普株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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