用于对受测试电子装置进行电气检查的设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种非远心电压成像光学系统。揭示一种用于对受测试电子装置进行电气检查的设备，其中照射光在到达调制器之前不通过成像透镜。所述系统不需要且不采用常规的电压成像光学系统的偏振控制组件来消除光噪声。所描述的光学系统的此特征大体上降低了整个检查设备的质量、成本和复杂性。另外，用于所描述的系统中的非远心透镜的质量、成本和复杂性远远低于常规检查系统中的非远心透镜。所述系统并入有：检查头，其包含电光调制器；偏置电压源，其产生施加到所述电光调制器的偏置电压模式；光源，其用于产生用于照射所述电光调制器的光脉冲；非远心透镜和相机，其用于获取所述被照射的电光调制器的图像。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种非远心电压成像光学系统。揭示一种用于对受测试电子装置进行电气检查的设备，其中照射光在到达调制器之前不通过成像透镜。所述系统不需要且不采用常规的电压成像光学系统的偏振控制组件来消除光噪声。所描述的光学系统的此特征大体上降低了整个检查设备的质量、成本和复杂性。另外，用于所描述的系统中的非远心透镜的质量、成本和复杂性远远低于常规检查系统中的非远心透镜。所述系统并入有：检查头，其包含电光调制器；偏置电压源，其产生施加到所述电光调制器的偏置电压模式；光源，其用于产生用于照射所述电光调制器的光脉冲；非远心透镜和相机，其用于获取所述被照射的电光调制器的图像。【专利说明】用于对受测试电子装置进行电气检查的设备相关专利申请案的交叉参考本非临时专利申请案是基于2012年3月27日申请的第61/616，335号美国临时专利申请案，且主张所述申请案的优先权权益，所述申请案的全部揭示内容以引用的方式并入本文中。
本技术大体上涉及用于检查例如IXD和OLED面板等电子装置的系统和方法，且更明确来说，涉及提供低质量、低成本、模块化和放大率可调整的电压成像光学系统(VIOS)和对应的方法。
技术介绍
液晶显示器(LCD)面板并入展现出电场相依光调制特性的液晶。它们最频繁用于在范围从传真机、膝上型计算机屏幕到大屏幕、高清TV的多种装置中显示图像和其它信息。有源矩阵LCD面板是复杂分层结构，其由若干功能层组成:偏振膜；玻璃衬底，其并入薄膜晶体管(TFT)、存储电容器、像素电极和互连配线、并入黑色矩阵、彩色滤光片阵列和透明共同电极的彩色滤光片玻璃衬底；由聚酰亚胺制成的定向膜；以及实际的液晶材料，其并入塑料/玻璃隔片以维持适当的LCD单元厚度。IXD和OLED面板是在清洁室环境中在高度受控的条件下制造以使良率最大化。但是，由于制造缺陷，大量LCD和OLED显示器不得不丢弃。为了提高IXD面板生产良率，在IXD面板的整个制造过程期间实施了多个检查和修复步骤。其中，最关键的检查步骤中的一者是阵列测试，电气检查步骤在TFT阵列制造过程的末尾执行。在市场上目前IXD和OLED显示器制造商可使用若干常规的阵列测试技术，其中最普遍的是使用电光换能器的电气检查。此类型的一种示范性检查装置是阵列检验器，其可从澳宝科技公司的光子动力学购得。具体来说，前述的阵列检验器检查系统采用了所谓的“VOLTAGE IMAG丨NG ?”方法，其利用经配置以测量个别TFT阵列像素上的电压的基于反射性液晶的电光换能器(调制器)。在阵列检验器对TFT阵列进行检验时，将驱动电压模式施加到受测试TFT面板，且通过将前述的电光调制器定位成与受测试TFT阵列紧密靠近(通常在50微米左右)，且使其经受高电压方波电压模式，来测量或“成像”所得的面板像素电压。举例来说，施加到调制器的电压方波模式的振幅可为300V和60Hz的频率。通过在所施加的驱动电压下使检查系统的电光调制器靠近受测试TFT阵列的像素而在所述电光调制器上形成的电势迫使调制器中的液晶改变其电场相依空间定向，从而局部地改变其在调制器上的光透射性。换句话说，调制器的光透射性变得代表其靠近的阵列像素上的电压。为了俘获所改变的调制器透射性，用一个或一个以上光脉冲来照射调制器，且由调制器反射的光被成像到相机上，所述相机俘获并数字化所得的帧，且将其组合为图像。前述光脉冲的持续时间可例如为I毫秒。一旦使用前述的基于液晶的电光换能器测量出TFT面板区域中的像素电压分布，便将换能器移动到TFT面板的另一区域且获取新的图像。
技术实现思路
专利技术性方法针对于大体上避免与用于检查电子装置的常规技术相关联的以上和其它问题中的一者或一者以上的方法和系统。根据本文中所描述的技术的一个方面，提供一种用于对受测试电子装置进行电气检查的设备，所述设备包括:检查头，其并入电光调制器；偏置电压源，其产生施加到所述电光调制器的偏置电压模式；光源，其用于产生用于照射电光调制器的光脉冲；非远心透镜组合件和相机，其用于获取被照射的电光调制器的图像；以及驱动电子器件，其经配置以将电压信号施加到受测试电子装置。在专利技术性设备中，照射光脉冲在照射到电光调制器之前不穿过非远心透镜组合件。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含折叠镜。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含光束分离器，其中所述光源并入安置于所述光束分离器的同一侧上的一发光二极管(LED)或不同波长的多个发光二极管(LED)。根据技术方案I所述的检查设备，其进一步包括光束分离器，其中所述光源并入一发光二极管(LED)或安置于所述光束分离器的相对侧上的不同波长的多个发光二极管(LED)。在一个或一个以上实施例中，所述光源并入经配置以产生一种或若干种波长的光的光照射器片。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含用于将光源成像到非远心透镜组合件的入射光瞳中的折射性聚光透镜。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含聚光器，其中所述聚光器并入具有椭圆形状的反射性内表面。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含聚光器，其中所述聚光器并入反射性菲涅尔表面。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含聚光器，其中所述聚光器并入具有非球面形状的反射性内表面。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含反射性聚光器，其中所述光源安置在所述聚光器的所述内部椭圆表面的第一轨线处，且被成像到与所述非远心透镜组合件的光瞳重合的第二轨线。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含安置在所述照射光脉冲的光学路径中的漫射器。在一个或一个以上实施例中，所述光源是由一个发光二极管(LED)组成。 在一个或一个以上实施例中，所述光源是由在不同波长下操作的两个发光二极管(LED)组成。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含用于将所述照射光脉冲引导到电光调制器上的光束分离器。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含透镜光瞳，所述透镜光瞳经配置以使得将光源成像到透镜光瞳中。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含安置在所述照射光脉冲的光学路径中的变迹器和漫射器。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含定位在光照射器片之后且经配置以防止电光调制器的直接照射的遮板。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含镜扫描器。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含柔性光束分离器，所述柔性光束分离器的表面形状可调整以优化照射电光调制器的光的照射特性。在一个或一个以上实施例中，所述电光调制器相对于非远心透镜组合件和相机是固定的。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含用于使用所获取的被照射的电光调制器的图像来计算每一部位处的放大率的处理单元。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含用于从线性可变差动变压器(LVDT)值计算放大率并校正非远心误差的处理单元。在一个或一个以上实施例中，所述设备进一步包含线性可变差动变压器(LVDT)值测量模块，其用于确定电光调制器的垂直位置中的调整以用于最小化非远心误差。在一个或一个以上实施例中，所述非远心透镜组合件具有增加的焦距以减小非远心误差。在一个或一个以上实施例中，所述非远心透镜组合件是部分远心的。在一个或一个以上实施例中，所述非远心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对受测试电子装置进行电气检查的设备，其特征在于所述设备包括：?a.检查头，其包括：电光调制器；偏置电压源，其产生施加到所述电光调制器的偏置电压模式；光源，其用于产生用于照射所述电光调制器的光脉冲；非远心透镜组合件和相机，其用于获取所述被照射的电光调制器的图像；以及?b.驱动电子器件，其经配置以将电压信号施加到所述受测试电子装置，其中所述照射光脉冲在照射到所述电光调制器之前不通过所述非远心透镜组合件。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯·H·贝利，劳埃德·琼斯，
申请(专利权)人：飞腾动力公司，
类型：实用新型
国别省市：