光学式瑕疵检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光学式瑕疵检测装置，其包含机台、第一取像模块、第二取像模块、光源模块、分光镜模块及处理模块。机台用于运送待检测物。第一取像模块接收第一影像光线并产生第一影像讯号。第二取像模块接收第二影像光线并产生第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。分光镜模块接收待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线，处理模块再根据以判断出待检测物的瑕疵特征。本实用新型专利技术采用第一取像模块与第二取像模块具有差异性的配置，可提高装置的检测能力及准确度，且第二取像模块与第一取像模块的影像撷取光路相互垂直可有效的缩小装置的检测距离。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种光学式瑕疵检测装置，其包含机台、第一取像模块、第二取像模块、光源模块、分光镜模块及处理模块。机台用于运送待检测物。第一取像模块接收第一影像光线并产生第一影像讯号。第二取像模块接收第二影像光线并产生第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。分光镜模块接收待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线，处理模块再根据以判断出待检测物的瑕疵特征。本技术采用第一取像模块与第二取像模块具有差异性的配置，可提高装置的检测能力及准确度，且第二取像模块与第一取像模块的影像撷取光路相互垂直可有效的缩小装置的检测距离。【专利说明】光学式瑕疵检测装置
本技术涉及一种瑕疵检测装置，具体涉及一种利用二种不同参数配置且影像光路相互垂直的撷取模块，以进行检测待检测物的光学式瑕疵检测装置，其中不同参数尤其是指分辨率的不同或全彩式影像与灰阶式影像的差别。
技术介绍
一般来说自动光学检测装置(AOI)是用来检测待检测物的外观缺陷或量测尺寸等检测项目，尤其是应用于表面黏着制程的零件(如印刷电路板(PCBs)上焊接组件)或对于印刷电路板(PCBs)、平面显示面板(FPDs)或触控式面板的布线检测，更是需要进行精确的外观缺陷或尺寸量测等检测项目，例如导体的完整性(断裂、连续、破裂等)及尺寸、缘体或基板的完整性及尺寸、孔尺寸及配置、穿孔尺寸及配置、导体间距、线宽及线长、芯片特征、上胶、组件放置或焊接缺陷等，以确保表面黏着组件或组件布线的质量。现有技术中的自动光学检测装置(AOI)大多为使用一检测台、一光源模块及一取像模块，其中单一取像模块大多是指同一种分辨率的取像模块，在不同的情况应用下，亦有可能使用若干个取像模块，但其分辨率上的应用是相同的。检测台摆放需检测的待检测物，再来利用光源模块对着待检测物发出一正向或背向光源，接着利用取像模块撷取影像，最后依据撷取的影像进行外观暇疵或尺寸量测等检测项目。现有技术中使用单一取像模块进行检测，因自动光学检测装置在同一待检测物的检测工程中，无法动态变化其分辨率以进行检测，也就是说在同一待检测物于一检测工程中无法临时变更其分辨率。若欲变更分辨率以进行检测，则须提供另一完整检测工程中，方可变更分辨率进行检测。在为使待检测物检测得以精确，通常会调整取像模块至较高的分辨率或全彩式的影像以进行检测，而此时使用较高的分辨率或较高的分辨率搭配全彩式的影像，其检测时程须花费较多的时间，此情形在制造工时日益要求的制造产业下，实为一大阻碍。再者，若将使用全彩式影像的摄影模块的分辨率提高，则检测速度会更慢；另一方面若为使检测速度不变慢，而将全彩式影像变更为灰阶式影像的话，但灰阶式影像对于待检测物的颜色轻微变异却不易检测。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光学式瑕疵检测装置，解决现有技术中检测效率不佳的问题，不提高全彩式影像的摄影模块的分辨率，以其检测灰阶式影像的摄影模块对于颜色判定上的弱点，再搭配灰阶式影像的摄影模块并提高其分辨率，以弥补较差分辨率的全彩式影像的摄影模块对较小缺点的检测能力，如此整体检测速度并未因改变摄影模块的分辨率提高而减慢。为了达到上述目的，本技术通过以下技术方案实现:一种光学式瑕疵检测装置，其包含了一机台、至少一第一取像模块、至少一第二取像模块、一光源模块、一分光镜模块及至少一处理模块。机台用于运送一待检测物。第一取像模块设置于机台，且接收第一影像光线，以产生至少一第一影像讯号。第二取像模块设置于机台，且接收第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。光源模块设置于机台，且发射光源至待检测物。分光镜模块设置于机台，且位于第一取像模块及待检测物之间，而第二取像模块位于分光镜模块的一侧。分光镜模块接收通过光源所产生的对应待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线。处理模块电性连结第一取像模块及第二取像模块，其根据第一影像讯号、第二影像讯号或第一影像讯号及第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。第一取像模块可产生灰阶式的第一影像讯号，第二取像模块可产生全彩式的第二影像讯号。第一取像模块的影像分辨率可高于第二取像模块的影像分辨率。第一取像模块及第二取像模块可为线型感光组件(Line Scan (XD)。处理模块还可包含一预定样板；处理模块根据预定样板与第一影像讯号或第二影像讯号，以判断出待检测物的瑕疵特征。处理模块可根据预定样板将待检测物的一表面区分为若干个区块，若干个区块分别设定为不同的一检测参数，表面为面向第一取像模块或第二取像模块的表面。处理模块可根据第一影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。较佳地，处理模块可根据第二影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。分光镜模块的穿透率可为60?70%，其反射率可为30?40%。一种光学式瑕疵检测装置，其包含了一机台、若干个光源模块、至少一第一取像模块、一反光镜模块、至少一第二取像模块及至少一处理模块。机台用于运送一待检测物。若干个光源模块设置于机台，且分别发射一光源至待检测物。第一取像模块对应其中一光源模块设置于机台，第一取像模块接收通过其中一光源模块所发出的光源所产生的对应待检测物的一待检测物影像光线，以产生至少一第一影像讯号。反光镜模块对应其中另一光源模块设置于机台，且反射通过另一光源模块所发出的光源所产生的对应待检测物的另一待检测物影像光线，以成为一第二影像光线。第二取像模块对应反光镜模块设置于机台，且接收通过反光镜模块反射的第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。处理模块电性连结第一取像模块及第二取像模块，其根据第一影像讯号、第二影像讯号或第一影讯号及第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。第一取像模块可产生灰阶式的第一影像讯号，第二取像模块可产生全彩式的第二影像讯号。第一取像模块的影像分辨率可高于第二取像模块的影像分辨率。第一取像模块及第二取像模块可为线型感光组件(Line Scan (XD)。处理模块还可包含一预定样板，处理模块可根据预定样板与第一影像讯号或第二影像讯号，以判断出待检测物的瑕疵特征。处理模块可根据预定样板将待检测物的一表面区分为若干个区块，若干个区块分别设定为不同的一检测参数，表面为面向第一取像模块或第二取像模块的表面。处理模块可根据第一影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。处理模块可根据第二影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。更可包含一隔板，其设置于待检测物影像光线的光路与另一待检测物影像光线的光路之间。本技术光学式瑕疵检测装置与现有技术相比具有以下优点:(I)由于二取像模块间的影像撷取光路采用相互直的方式，达到缩小检测距离的效果；(2)由于设有二个取像模块，并设定不同的参数，达到二个影像撷取模块间的不同的参数进行互补的效果，且其二者在撷取速度上的匹配，进一步有效提升检测效率；(3)由于设有二个影像撷取模块，并设定不同的参数进行互补本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学式瑕疵检测装置，其特征在于，包含：机台，用于运送待检测物；至少一第一取像模块，设置于所述的机台，且接收第一影像光线，以产生至少一第一影像讯号；至少一第二取像模块，设置于所述的机台，且接收第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且所述的第二取像模块的影像撷取光路垂直于所述的第一取像模块的影像撷取光路；光源模块，设置于所述的机台，且发射光源至待检测物；分光镜模块，设置于所述的机台，且位于所述的第一取像模块及所述的待检测物之间，而所述的第二取像模块位于所述的分光镜模块的一侧，所述的分光镜模块接收通过所述的光源所产生的对应所述的待检测物的待检测物影像光线，且将所述的待检测物影像光线分为所述的第一影像光线及所述的第二影像光线；以及至少一处理模块，电性连结至所述的第一取像模块及所述的第二取像模块，其根据所述的第一影像讯号、所述的第二影像讯号或所述的第一影像讯号及所述的第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈文生，沈明辉，李旻奇，
申请(专利权)人：联策科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：