颗粒监测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种颗粒监测装置，包括底座、旋转部件、伸缩连杆、连接部件、主采样管和采样头，其中，底座与旋转部件连接，伸缩连杆的一端固定于旋转部件上，其另一端与连接部件活动连接，连接部件另一端面与主采样管固定连接，采样头与主采样管固定连接；从而克服了现有技术中的颗粒监测装置受到外力撞击极易折断的问题，也克服了现有技术中由于半导体设备的维修，需要取消该点的颗粒监测，而导致的生产隐患较大的问题，进而保证了颗粒监测的正常进行，且节约洁净室的空间，保证了产品的良率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种颗粒监测装置，包括底座、旋转部件、伸缩连杆、连接部件、主采样管和采样头，其中，底座与旋转部件连接，伸缩连杆的一端固定于旋转部件上，其另一端与连接部件活动连接，连接部件另一端面与主采样管固定连接，采样头与主采样管固定连接；从而克服了现有技术中的颗粒监测装置受到外力撞击极易折断的问题，也克服了现有技术中由于半导体设备的维修，需要取消该点的颗粒监测，而导致的生产隐患较大的问题，进而保证了颗粒监测的正常进行，且节约洁净室的空间，保证了产品的良率。【专利说明】颗粒监测装置
本技术涉及半导体监测装置领域，尤其涉及一种颗粒监测装置。
技术介绍
科学技术的发展，数码产品已经遍布人们生活的各个方面，在数码产品中会运用到各种芯片，而芯片的制成是在半导体工厂内进行，所以，半导体工厂内的洁净度对芯片的性能有着至关重要的影响。现有半导体工厂内，为了在洁净室中控制产品所接触空气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境中生产、制造，颗粒监测是非常重要的一项日常工作。目前常用的颗粒监测的采样装置是将黑色的采样软管穿过不锈钢底座和钢管而后与探头连接，如图1所示，图1是现有的颗粒监测装置结构示意图，不锈钢钢管02和底座01之间通过螺纹连接，利用螺丝钉将底座01通过设置在底座上的三个螺纹通孔04固定在地板上；底座连接部分03的高度为2cm，直径为2cm，管壁厚度为1.5mm，采样管安装高度为1.2m。通常，采样点安装的位置在两台半导体设备之间，在现有的颗粒监测装置受到外力的撞击时，由于其底座高度和采样管高度的原因，极易折断；而当半导体设备需要进行维修操作时，维修人员通常会将该半导体设备周围的颗粒监测装置的采样管拆下，暂时取消对该点的洁净度监测，如此，会造成无法及时获取该区域的颗粒状况的问题。当该区域的洁净度严重超标时，由于没有颗粒监测装置及时进行洁净度的监测，将会导致洁净室内更多区域的污染，从而会降 低产品的良率，且影响生产进度。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本技术提供一种颗粒监测装置，以克服现有技术中的颗粒监测装置受到外力撞击极易折断的问题，也克服现有技术中由于半导体设备的维修，需要取消该点的颗粒监测，而导致的生产隐患较大的问题，从而保证了颗粒监测的正常进行，且节约洁净室的空间，保证了产品的良率。为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为:—种颗粒监测装置，包括底座、主采样管和采样头，所述采样头与所述主采样管的一端固定连接，其中，还包括:旋转部件、伸缩连杆和连接部件；所述底座与所述旋转部件连接，所述伸缩连杆的一端固定连接于所述旋转部件的侧壁上，所述伸缩连杆的另一端与所述连接部件活动连接，所述主采样管的另一端与所述连接部件固定连接。上述的颗粒监测装置，其中，所述底座与所述旋转部件活动连接。上述的颗粒监测装置，其中，所述旋转部件包括一倒置内筒和一外管，所述外管套设于所述倒置内筒上；其中，所述倒置内筒与所述底座活动连接，以使所述底座与所述旋转部件活动连接。上述的颗粒监测装置，其中，所述外管的长度小于所述倒置内筒的长度，且所述外管的顶部与所述倒置内筒的顶部持平。上述的颗粒监测装置，其中，所述倒置内筒和所述外管的侧壁上均开设一开口，通过所述开口以使所述伸缩连杆的一端固定连接于所述旋转部件的侧壁上。上述的颗粒监测装置，其中，所述底座与所述旋转部件固定连接。上述的颗粒监测装置，其中，所述旋转部件包括一内管和一倒置外筒，所述倒置外筒活动套设于所述内管上；其中，所述内管底部与所述底座固定连接，以使所述底座与所述旋转部件固定连接。上述的颗粒监测装置，其中，所述倒置外筒上开设一开口，通过所述开口以使所述伸缩连杆的一端固定连接于所述旋转部件的侧壁上。上述的颗粒监测装置，其中，所述内管的长度小于所述倒置外筒的长度，且所述内管的长度不大于所述开口底部到所述倒置外筒底部的距离。上述的颗粒监测装置，其中，所述倒置外筒的底部高于所述内管的底部。上述的颗粒监测装置，其中，所述伸缩连杆的一端为长度固定的管状结构，所述伸缩连杆的另一端为可伸缩的套接管状结构。上述的颗粒监测装置，其中，所述连接部件包括外连接结构和内连接结构；通过所述外连接结构使所述连接部件与所述伸缩连杆的另一端活动连接；通过所述内连接结构使所述连接部件与所述主采样管的另一端固定连接。上述技术方案具有如下优点或者有益效果:本技术提供的颗粒监测装置，包括底座、旋转部件、伸缩连杆、连接部件、主采样管和采样头，其中，底座与旋转部件连接，伸缩连杆的一端固定于旋转部件上，其另一端与连接部件活动连接，连接部件另一端面与主采样管固定连接，采样头与主采样管固定连接；从而克服了现有技术中的颗粒监测装置受到外力撞击极易折断的问题，也克服了现有技术中由于半导体设备的维修，需要取消该点的颗粒监测，而导致的生产隐患较大的问题，进而保证了颗粒监测的正常进行，且节约洁净室的空间，保证了产品的良率。【专利附图】【附图说明】通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。图1是现有的颗粒监测装置结构示意图；图2是本技术实施例1提供的颗粒监测装置的结构示意图；图3是本技术实施例2提供的颗粒监测装置的结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图和具体的实施例对本技术作进一步的说明，但是不作为本技术的限定。实施例1:图2是本技术实施例1提供的颗粒监测装置的结构示意图；如图所示，该颗粒监测装置，包括底座101、主采样管106、采样头107，旋转部件、伸缩连杆104和连接部件105 ;并且采样头107与主采样管106的一端固定连接，底座101与旋转部件活动连接，伸缩连杆104的一端固定连接于旋转部件的侧壁上，伸缩连杆104的另一端与连接部件105活动连接，主采样管106的另一端与连接部件105固定连接，并且伸缩连杆104通过该连接部件105与主采样管106呈90°垂直连接。其中，在本技术实施例1中，底座101上分布有三个螺旋孔108，用以将该颗粒监测装置固定在底板上(只需保证颗粒监测装置能够固定在地板上并保持平衡即可)，且底座101为圆形，其直径因为连接口的增高而减小至8cm，现有技术中的底座的直径为12cm，这是由于，在本技术实施例中，旋转装置作为连接口使用，连接口的增高(对比图1中的部件03)能够保证颗粒监测装置的平衡性，从而使得底座的直径可以设计的更小，进而减小了颗粒监测装置的占用空间，增加了防断裂的能力。同时，在本技术实施例1中，旋转部件包括一倒置内筒103和一外管102，外管102套设于倒置内筒103上，具体的，倒置内筒103上设置有多个卡槽，外管102上设置有与倒置内筒103上的多个卡槽相对应的多个卡接头,通过卡接头与卡槽结合，并可以使外管102固定紧紧套设于倒置内筒103上；另外，外管102的长度小于倒置内筒103的长度，该外管102的顶部与倒置内筒103的顶部持平，由于倒置内筒103与底座101活动连接，从而使得底座101与旋转部件活动连接；同时，倒置内筒103和外管102的侧壁上均开设一开口，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘军花，王祺，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：