描述了一种铜电解沉积中酸雾抑制的方法。在各种实施方案中，将至少一种液体甘草根提取物、粉末状甘草根提取物或重构甘草提取物以足够的量加入到铜电解沉积工艺的酸性电解质溶液中，以抑制铜电解沉积工艺期间来自酸性电解质溶液的酸雾。在各种实施方案中，...