本申请公开一种用于半导体设备零部件的清洁装置，包括安装支架、安装罩及照射组件。安装支架用于与半导体设备对接；安装罩设置于所述安装支架，且所述安装罩的出口朝向待清洁零部件；照射组件设置于所述安装罩，用于对待清洁零部件进行紫外光照射。采用上...