本发明涉及一种曝光用LED光源装置，其包括：多个LED光源模块，其包括多个LED光源单元；控制部，其分别控制向多个LED光源模块的多个LED光源单元供给的电流的大小而确定到达曝光区域的光的强度，并控制供电和断电；电源供给部，其在控制部的...

本发明提供包括多个将LED（Light?Emitting?Diode）用作光源的光源单元的单一光源模块以能够以一个光源对半导体晶片、显示板等多种大小和种类的曝光对象物以及多种性质的光刻胶（Photo?resist，PR）进行曝光，并提供...