株式会社智慧化工专利

株式会社智慧化工专利技术

株式会社智慧化工共有1项专利

铪化合物、含有所述铪化合物的铪前驱体组合物、包含铪化合物或所述铪前驱体组合物的含铪薄膜及其制造方法技术

本发明涉及一种可以用于形成多种含铪薄膜的含铪前驱体，所述含铪前驱体在常温下为液体且呈现出较高的挥发性以及较高的热学稳定性，因此可以在高品质的含铪薄膜及其制造方法中使用。

最后更新日期：2024-01-24 00:32 访问量：11