一种静电电容式位移测量装置，具有可转动的转子４１和以相对于该转子的外侧周面具有预定间隙的方式配置的、其内侧周面呈半圆形状的定子５１。在前述转子４１的外侧周面的两端部处，形成有使前述转子４１和定子５１的相对面之间具有预定的间隙用的台阶部４...

感应电流位置传感器具有多抽头线圈。多抽头线圈允许数字补插位置至一个波长的很小部分，由此减少了由传感器电子线路进行的模拟补插量。此外，多抽头接收器线圈增强了总输出信号的强度，由此允许沿测量轴方向接收器线圈有较小的长度。还有，多抽头接收器线...

一种位移传感器包括一第一标尺（１１）和第二标尺（１２），这两标尺彼此相对设置且可沿测量轴线方向相对移动。第一标尺（１１）包括一发射电极组（１３）和一接收电极（１４）。该发射电极组（１３）由多个以一基本周期（Ｗ１）沿着测量轴线方向排列的发...

一种能抑制发送电极与检测电极间的串音的静电电容式传感器，在传感器的电极部设有发送电极１０和检测电极１２，与设于相对的标尺上的接收电极电容耦合。用检测电极１２检测变位引起的发送电极１０与接收电极间的电容变化向发送电极１０供给相位不同的多个...

一种千分表１Ａ，其上设有套筒衬套２０，具有：固定部２１，其固定在套筒５的内壁上并与测量轴３之间设有规定间隔的间隙；保持部２２，其滑动自如地保持测量轴３并与套筒５之间设有规定间隔的间隙；连接部２３，其连接固定部２１与保持部２２并可弹性变形...

触针２０直接固定在检测器３２上，检测器３２直接固定在支座１０上。由此，以这样的状态构成了振动型接触检测传感器：其中支座１０与触针２０设置在相互间不会接触的位置，触针２０与检测器３２设置在相互接触的位置。由此，避免了由支座１０引起触针２０...

一安装在所述框架上的光发射晶片，该光发射晶片具有一与刻度盘的光栅表面基本垂直并处于光栅的方向的光发射表面。一密封光发射元件晶片和框架的模制的透明树脂，第一光学元件反射来自于光发射元件晶片的光，该反射的光基本平行于光栅表面，并处于与光栅的...

一种用于测量位移的装置上的标尺，该标尺包括一个含有形成在玻璃－环氧树脂基片等上的以间隔的方式分布的多个矩形线栅的标尺部件，一个覆盖在形成有多个矩形线栅的标尺部件一侧上的涂层，一个用做保护层的标尺盖层（薄膜层），以及利用粘结层粘附在涂层外...

使多束光线在标尺１０的入射位置１０Ａ、１０Ｂ或在标尺光栅１２Ｂ上的衍射点错开大于标尺光栅上的光束束径的距离，同时使各光束在标尺的入射角θ和衍射角Φ大致相等。由此可使信号强度不易受到间距角偏移的影响，且可获得良好的信号。所以，在设备上的安...

一种偏移减少的感应电流位置传感器使用带式标尺以便将读数头上的至少一个发送器绕组感应地耦合于读数头上的一个或多个接收器绕组。该至少一个发送器绕组产生了耦合于带式标尺的主磁场。带式标尺中的开孔决定了带式标尺中感应电流的模式，包括远离主磁场区...

本发明公开了一种用于测定衍射标度光栅相对位移的光位移传感装置，该光栅可以具有小于传感装置光波长的光栅间距。该传感装置包括分光束输入部分用于沿各自光路输入两条分光束，和光路引导部件用于沿会聚光路引导两条分光束至标度光栅上的第一区而沿发散光...

本发明提供一种计测器罩及计测器，该计测器罩在由弹性构件构成的、覆盖卡尺的游标主体（５１０）的罩主体（１００）的内面上设有凹凸（１１２），在外面上设有凹凸（１０３）。罩主体（１００）在该凹凸部分处容易弹性变形，受到外部冲击时，凹凸部分弹性...

本发明提供一种能够根据被测定物表面的状态，适当地调整仿形速度和采样间隔等测定条件的表面仿形测定装置等。为此，表面仿形测定装置包括：根据在进行仿形扫描的过程中所取得的测定数据，计算扫描地点的曲率半径的曲率半径计算装置（５４３）；根据所计算...

一种表面性状测定装置，其具有近场测定机构（３０），该近场测定机构（３０）具有：近场探针（３３），其在受到激光照射时在顶端部形成近场光；激光源（３５），其发射出照射在该近场探针上的激光；光子检测器（３８），其检测近场探针与被测定物（１）接...

本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行２路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、...

本发明提供一种测定装置，其包括：用于输出测定值的检测部件、数字显示部件、具有多个显示节段的模拟显示部件、以及显示控制部件。显示控制部件包括：公差范围显示部件，其使与相对于设定值而预先设定的公差范围相对应的显示节段点亮或闪烁；第１判断部件...

本发明涉及一种图像测量装置的校正方法，该图像测量装置具备：具有物镜（３１）的ＣＣＤ摄像机（３）、变更拍摄方向的姿势变更装置（４５）、使ＣＣＤ摄像机（３）和工件相对移动且具有物镜（３１）自动对焦功能的移动机构（４）、ＣＣＤ摄像机（３）的位...

一种位移传感器，它支持主刻尺和栅格中的任一方能朝相对于相对移动方向成垂直正交的方向位移。设有加压装置，推尺主刻尺和格栅中的任一方接近于另一方。还设有间隙保持装置，使由加压装置推压和一方与另一方向的间隙保持在预定的间隔之内。还有间隔容许装...

一种测量被测工件尺寸、形状等的三维测量仪，有一门形滑动装置，该装置包括一对互相平行的支柱，支柱间水平架设一横梁；滑动装置是由平台支承，可以移动，滑动装置上装有参与待测工件三维座标的测头，把使滑动装置移动的驱动装置设置于平台面上，并且位于...

在本尺２上装有可移动的游标３，本尺２和滑尺３上固定有一对压板４、５。压板４、５的外侧形成有手指按触突起部７、９。用手指按压手指按触突起部７、９而使压板４、５开闭，以测定置于压板４、５间的被测定部。由于压板靠手指开闭，因而不必再使用弹簧等...