提供一种能够对反应部稳定地供给原料且能够长期使用的HfN膜的制造方法及HfN膜。HfN膜的制造方法使用的成膜装置具备：经由配管供给被气化器气化了的原料气体的同时、将该原料气体喷射至与喷嘴表面对向配置的被成膜基板的喷气嘴，所述喷气嘴由以所...