本公开涉及低温静电卡盘，要解决的技术课题在于提供一种能加装于设备中同时不在设备中形成霜、冰或水分等的低温静电卡盘。为此，本公开提供一种低温静电卡盘，包括：底座构件；及支撑构件，所述支撑构件由在所述底座构件上涂布的第一介电层、在所述第一介...

本发明公开一种氨分解催化剂和使用其的氨分解方法。所公开的氨分解催化剂包括活性炭载体和负载在所述载体上的金属，所述载体的BET比表面积为850m2/g以上，所述金属包括Ce。所述金属包括Ce。所述金属包括Ce。

本发明提供一种在透镜不倾斜的情况下沿着光轴方向驱动透镜的透镜驱动装置，同时提供一种即便保持高的驱动力，管筒和罩之间配置的球与管筒和罩的摩擦力也不会变大并且在光轴方向上润滑地驱动管筒的透镜移动装置。透镜驱动装置包括：容纳透镜的方筒状的管筒...