本发明的课题是提高晶圆相对于研磨台的搬送精度。本发明的解决方案是晶圆搬送装置具有：第一滑件，其通过第一致动器在第一方向被驱动；以及第二滑件，其通过第二致动器在与所述第一方向交叉的第二方向被驱动。所述晶圆搬送装置具有搬送手，所述搬送手安装...