本发明的内容为：磁控管溅射电极可以使磁铁组装件的磁铁之间产生的管状磁束的轮廓调节变得简单易行。在支撑板上安装中央磁铁和周边磁铁，构成在靶前方形成管状磁束的磁铁组装件。对包含中央磁铁和周边磁铁的支撑板相对两侧进行分割，分割后的中央部分与一...

一种成膜装置，在可自由调整压力的成膜室内具有：可自由旋转地设置的圆形或多边形的筒状旋转体；旋转驱动所述筒状旋转体的旋转体驱动装置；与所述筒状旋转体的外表面侧相对设置的第一溅射成膜装置；与所述筒状旋转体的内表面侧相对设置的第二溅射成膜装置...

本发明提供成膜装置及成膜方法。在由成膜室（４４）、和备有与基板（Ｓ）相向的催化源（４８）的催化室（４６）构成的真空腔室（４２）中，成膜室（４４）和催化室（４６）通过开口部（４７）相连，基板载置在成膜室内，设该基板周缘部和开口部的周缘部之...

一种真空处理装置，其特征在于，该装置包括：搭载基材的多个载体；循环路径，保持为被控制的气氛，用于所述载体循环移动；多个基材出入室，设置于所述循环路径，用于对所述载体进行所述基材的投入及取出；真空处理室，分别设置于所述循环路径中的所述各基...

本发明提供一种对形状复杂的内部通路可容易地形成树脂被膜的真空部件制造方法及树脂被膜形成装置。本发明涉及的树脂被膜形成装置（２１），具有：单体蒸气的供给部（２３）、输送单体蒸气的真空排气管线（２４）、与真空排气管线（２４）的一部分上设置的...

为了将Ｎｉ－Ｔｉ合金作为生物材料投入实际使用，提供了与生物相容性结合的防腐蚀方法。这是一种用于生物材料的金属基底的防腐蚀方法，其中通过气相沉积聚合在金属基底上形成聚酰亚胺涂层。

一种微沉积流体材料的微滴以在衬底上确定特征图形的微沉积系统。确定衬底的特征图形。为特征图形产生掩模，该掩模减小由于微沉积头的喷嘴故障而出现缺陷的密度。根据该掩模在衬底上微沉积流体材料的微滴，以确定特征图形的子特征。为特征图形中的每个子特...

根据本发明，一打印设备（１０）可包括设计成用来支撑其上的基底的一卡盘（１６），远离所述卡盘（１６）的轨道（２４，２６），一与所述轨道（２４，２６）连接并且具有其内设有至少一个打印头（４０）的打印头机壳的打印头小车机架（１４），设计成捕获...

提供一种不会向涂敷层混入灰尘的印刷装置。本申请的印刷装置（１）具有第一喷出头（４０）和印刷头（３０），第一喷出头（４０）位于比印刷头（３０）还靠移动方向（Ｄ）的前方侧。在向印刷对象物（５）射着墨水前，从第一喷出头（４０）吹送除静电气体而...