本申请提供了一种臭氧水浓度稳定装置及晶圆清洗设备，其中，臭氧水浓度稳定装置包括存储罐、补水机构、浓度稳定机构、输送机构和控制器，在目标清洗机构采用臭氧水清洗晶圆时，控制器控制输送机构向目标清洗机构输送臭氧水，此时，控制器控制补水机构向存...