本实用新型涉及一种电容式MEMS麦克风结构，包括：衬底；振膜，振膜位于衬底上方；背板，背板位于振膜上方，背板包括电极区和非电极区；支架，支架位于衬底和背板之间，用于支撑振膜和背板；气隙，气隙位于振膜、背板以及支架之间；其中，电容式MEM...

本发明涉及一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法，包括：衬底；振膜，振膜位于衬底上方；背板，背板位于振膜上方，背板包括电极区和非电极区；支架，支架位于衬底和背板之间，用于支撑振膜和背板；气隙，气隙位于振膜、背板以及支架之间；其中，电容...