本发明提供了一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，包括以下步骤：（1）将工业级无水氟化氢通过气化器气化；（2）已气化稳定的氟化氢气体进入固定床反应器氧化；固定床反应器上载有氧化剂，所述氧化剂为固体氧化剂；（3）精馏塔的精馏蒸发器中注入纯水，...