本发明公开一种用于半导体制备的气体切换装置，涉及半导体设备技术领域，以解决将不同气源与半导体设备的流体输送系统的进气口拆装费时费力的问题。所述用于半导体制备的气体切换装置包括出气组件、第一三通阀、第二三通阀和控制系统，第一三通阀包括第一...

本实用新型公开一种密封接头，涉及半导体密封技术领域，以解决传统的密封接头的半圆形凸缘与金属垫片接触时，接触面积较大，密封效果差的问题。所述密封接头包括接头本体和环形球头，接头本体内设置有通孔，通孔用于气体流通；环形球头设置于接头本体的一...

本实用新型公开一种用于钢瓶焊接的定位工装，涉及钢瓶加工技术领域，用于提升钢瓶焊接效率的同时，提升钢瓶焊接质量。用于钢瓶焊接的定位工装包括承载板、第一定位组件、第二定位组件、第三定位组件和第一支撑架，第一定位组件设置于承载板。第一定位组件...

本实用新型公开一种阀体检测工装，涉及阀门技术领域，以解决当阀体的流道为上下直通型，检测设备无法对该类型阀体的密封性、调节压力性能进行检测的问题。所述阀体检测工装包括检测座和至少两个密封接头，检测座上设置有至少两个检测流道，每个检测流道分...

本发明公开一种基块焊接固定工装，涉及半导体设备技术领域，以解决焊接不同的接头和基块的不同流道口位置时，需要不同工装的问题。所述基块焊接固定工装包括接头固定件、第一夹具和第二夹具，第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当基...

本发明涉及一种氮气弹簧加载力型减压阀及其预设调节装置，其阀芯包括：上芯，其顶部设置有螺纹充气通道；连接垫片，设置在上芯的底部内侧周向；波纹管，其第一端固定在上芯及连接垫片的底部；下芯，其顶部周向与波纹管的第二端连接，上芯、波纹管及下芯之...

本发明公开一种用于膜片焊接的辅助工具，涉及膜片焊接技术领域，以解决膜片与膜片压块的焊接成品率较低的问题。所述用于膜片焊接的辅助工具包括用于将膜片压紧于膜片压块上的压紧装置，压紧装置包括支架、高度调节组件和抵压件，高度调节组件安装于支架上...

本发明涉及一种负压供气钢瓶及其制造方法，其包括瓶身，预先进行内部研磨和抛光，以使所述瓶身内部表面质量达到半导体级要求；上盖，设置在所述瓶身的顶部形成钢瓶主体，所述上盖的内部表面预先进行研磨和抛光以达到半导体级要求，且所述上盖上设置有开口...

本发明涉及一种手动阀门耐久性测试设备及其测试方法，其包括：测试箱体；连接固定装置，设置在所述测试箱体内，用于安装固定待测手动旋转阀门；驱动装置，设置在所述测试箱体内，与所述待测手动旋转阀门连接，带动所述待测手动旋转阀门启闭；性能测试装置...

本发明涉及一种接头部件智能泄漏检测装置及方法，其包括：检测机构，包括水槽和气泡检测单元，所述气泡检测单元设置在所述水槽内，所述水槽内盛有检测用水；支撑架，其底部与所述水槽顶部周边固定连接；升降机构，其固定端与所述支撑架连接，活动端与支撑...

本实用新型提供一种钢瓶焊接充保护气体工装，包括充气接头管、法兰接头以及充气管；充气管内形成有腔体，充气管的侧壁上形成有充气孔，充气孔连通腔体和外界；充气管的一端设有密封结构；法兰接头密封连接于充气管的另一端，并与腔体连通；充气接头管上设...

本实用新型涉及一种半导体基块内孔面抛光的磨粒流工装，其包括：下模，设置在研磨机的下磨料缸上部，所述下模的上部设置有抛光用的磨粒流通道；支撑环，设置在所述下模的上部，其中部环形空间与所述下模之间形成用于放置待加工零件的容置腔；所述待加工零...

本实用新型公开一种单向阀，涉及阀门技术领域，以解决传统单向阀弹簧易发生共振，引发蜂鸣现象的问题。所述单向阀包括阀体、阀座、弹簧和提动芯结构，阀体上设置有空腔、进气口和出气口；阀座设置于空腔内且与阀体固定连接，阀座上设置有第一通孔，第一通...

本实用新型公开一种钢瓶焊接工装，涉及焊接工装技术领域，以解决现有的钢瓶在焊接时各部件定位不好的问题。所述钢瓶焊接工装包括：支架、基座、横梁、第一定位爪和第二定位爪，所述基座水平设置于所述支架上，所述基座用于放置钢瓶底座；所述横梁设置于所...

本发明公开一种特气柜，涉及供气设备技术领域，以解决现有的特气柜占地面积大的问题。所述特气柜包括：气路系统；多个气路基块，所述气路系统上的组件通过所述多个气路基块接通；所述气路基块包括：基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔...

本发明公开一种气路基块，涉及特气柜技术领域，以解决现有特气柜的基块与阀体数目较多时，连接结构繁琐，连接时工作量大的问题。所述气路基块包括：基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔用于连接阀体；所述基块本体内设置有进气通道和出...

本实用新型公开一种研磨工装，涉及机械加工技术领域，以解决当零件的一端截面为方形时，三爪卡盘对具有方形结构的零件的固定不牢靠的问题。所述研磨工装包括：底座、卡座和紧固件，底座的一端为圆柱形，用于与三爪卡盘固定连接，底座的另一端上设置有空腔...

本实用新型公开一种阀体固定辅助工装，涉及阀门技术领域，以解决阀体的底座的厚度较小时，台钳容易滑离底座的侧壁，导致固定不牢靠的问题。所述阀体固定辅助工装包括固定座，固定座的厚度大于阀体的底座，固定座上设置有空腔，空腔用于容纳底座，并在水平...

本实用新型公开一种研磨工装，涉及管道加工技术领域，以解决手工研磨的研磨均匀度无法保证的问题。所述研磨工装包括固定组件、下模和上模，固定组件包括第一固定件和第二固定件，第一固定件和第二固定件可拆卸连接，第一固定件和第二固定件连接后形成有腔...

本实用新型公开一种隔膜阀组装工装，涉及隔膜阀技术领域，以解决台钳夹持会对阀体或已经安装在阀体上的气缸壁造成损伤的问题。所述隔膜阀组装工装包括第一固定件和第二固定件；第一固定件和第二固定件均用于设置在阀体和气缸的周侧，第一固定件和第二固定...