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中国科学院电子学研究所专利技术
中国科学院电子学研究所共有1946项专利
“准球面型”微型气敏传感器及其制备方法技术
“准球面型”微型气敏传感器及其制备方法,包括硅片1,在硅片1上部有一基础层2,在基础层2与隔离层4之间的加热测温电极3,叉指电极5制作在隔离层4上,敏感薄膜6覆盖住叉指电极5,在硅片1与基础层2之间为一准球面型的空间7,在隔离层4上有小...
氢离子敏场效应管封装方法技术
一种氢离子敏场效应管封装方法,包括如下步骤:a、采用基本成型模具,该模具是由薄树脂印刷板制成;b、粘片,将切割后粘贴好的硅片置放在模具的相应位置;c、烘烤,将粘贴好硅片的模具置入烘箱内,在小于100度的温度下进行烘烤;d、超声压焊;e、...
口腔单个牙面牙菌斑游离氟检测传感器制造技术
一种口腔单个面牙菌斑游离氟检测传感器,包括参比电极1、密封胶2、源极和漏级引线3、钝化层4、Si↓[3]N↓[4]膜5、SiO↓[2]6、P↑[+]隔离区7,氟离子敏感膜8形成在Si↓[3]N↓[4]栅表面。本发明结构简单,成本低廉,特...
单面悬浮腐蚀薄膜的方法技术
一种单面悬浮腐蚀薄膜的方法,包括步骤:用黑胶-沥青保护硅片带有金属引线薄膜的一面,将硅片腐蚀到剩下20μm-30μm;黑胶清洗干净后,将硅片悬浮在支架上;由支架下面的腐蚀液继续腐蚀硅片到要求的尺寸。本发明使恒温的腐蚀液在硅片下面流动通过...
多层膜的干湿结合蚀刻方法技术
一种多层膜的干湿结合蚀刻方法,其特征在于,包括: 干法刻蚀各向异性磁电阻效应薄膜的保护层; 湿法腐蚀各向异性磁电阻效应薄膜的坡莫合金层; 干法刻蚀各向异性磁电阻效应薄膜的过渡层。
微结构气敏传感器阵列芯片及其制备方法技术
本发明属于气敏传感器技术领域,是微结构气敏传感器阵列的芯片结构及制备方法。该芯片由硅片、加热电极、测量电极和气敏薄膜等组成,其在做基底的硅片中间部位有≥1个隔开独立的贯通孔,在各通孔上依次覆有:支撑膜、绝缘膜;支撑膜中心有加热电极,绝缘...
基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片制造技术
一种基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力的传感器芯片。在基片上制作出平行极板和三个电阻,其中平行极板是测量湿度的电容的一个电极,电阻作为测量压力的应变电阻和测量温度的热敏电阻。在平行极板上和电阻上制作一层聚合物,分别作为电容电介质感...
基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及其制备方法技术
基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及制备方法,该传感器包括硅基底,氧化硅和氮化硅绝缘层,及在绝缘层上由内而外同心分布的圆形金薄膜工作电极、SU-8光刻胶围成的环形敏感膜池、环形铂薄膜对电极、环形铂薄膜参比电极、SU-8光刻胶围成的环形...
可自检微机械热电堆生物反应热探测器及制备方法技术
一种可自检微机械热电堆生物反应热探测器,为轴对称结构,在硅衬底的一面上依次有氧化硅和氮化硅绝缘层;在氮化硅绝缘层上并排两组由两种不同金属首尾相连构成的热电偶,该两组热电偶成轴对称状,在轴线上及两组热电偶的两侧各有一条状电阻为自检元件;邻...
一种生化微传感集成芯片、制作及模具制备方法技术
一种生化微传感集成芯片,其特征在于,包括:差分延长栅和读出电路,差分延长栅产生的信号由读出电路检测和处理,读出电路中含有作为离子敏延长栅场效应管ISEGFET和参比延长栅场效应管REEGFET传感器的两个金属-氧化物-半导体场效应管MO...
互补金属氧化物半导体单片集成的峰值检测电路制造技术
本发明属于互补金属氧化物半导体技术领域,公开一种互补金属 氧化物半导体单片集成的峰值检测电路,包括:峰值点寻找电路,用 于在输入正弦波信号A的峰值点时刻产生一个上升沿信号;峰值点 放电电路,用于在输入正弦波信号峰值点处产生一个放电波形信...
自动保持开关状态的显示灯泡的装置制造方法及图纸
一种自动保持开关状态的显示灯泡的装置,灯泡内有灯丝,双金属片和触头,灯丝接到被显示信息控制的触发电路上,触头接到维持电路上。此种灯泡组成的灯泡串,不需要控制元件,灯泡串的数目也没有限制,特别适用于大型显示屏和建筑物的圆周装饰及广告牌。
一种双阳极电真空管和组装方法技术
一种双阳极电真空管,第一阳极与陶瓷绝缘段组件的一端连接,陶瓷绝缘段组件的另一端与过渡段组件的一端口连接,过渡段组件与第二阳极连接;第一阳极上安置有第一阳极座,在第一阳极尾部设有一薄边区为焊边,在第一阳极座与第一阳极座尾部同端口处有一薄片...
一种螺旋线行波管慢波组件的制备方法技术
本发明公开一种螺旋线行波管慢波组件的制备方法,方法包括步骤:将清洗干净的螺旋线放入电镀液内;将金属铜电镀在螺旋线表面形成金属铜薄膜;将镀有金属铜的螺旋线和介质夹持杆及金属管壳固定在装架模具上并挤入金属管壳内。组件包括介质夹持杆、螺旋线、...
多功能环保紫外线杀菌灯制造技术
一种多功能环保紫外线杀菌灯,由外壳、反光背板、紫外线消毒灯管、车用点火器插头、交流电插座和开关组成,其特征在于,外壳为圆柱形容体,在外壳中段,纵向分为二部分:一半为反光背板,另一半为透明滑动罩;在外壳中段中心轴上设有紫外线消毒灯管;反光...
冷阴极辉光灯高压绝缘帽制造技术
一种冷阴极辉光灯高压绝缘帽,包括连接套(3),其特征在于导电头(1)与绝缘体(2)铆接,所述连接套(3)的一端套在绝缘体(2)上。
防汞蒸汽污染的新型霓虹灯制造设备制造技术
防汞蒸汽污染的新型霓虹灯制造设备包括机械泵10、分子泵7、电磁阀9、真空阀4、微调针阀8,在分子泵7与排气接头2之间有一汞珠陷井3。本实用新型由于使用了分子泵,使得系统真空度较高,不怕暴露大气,汞珠陷井的存在,避免了汞对真空系统和大气的...
高可靠长寿命阴级制造技术
本发明阴极是一种新的贮存式氧化物阴极.它由带有小室的阴极镍筒,小室内的铝酸盐和激活剂钛、钨和铼,小室上面的镍网帽,镍网帽下部的一层镍海绵,在镍海绵体内浸渍三元醋酸盐,以及在镍网帽表面涂覆的三元碳酸盐等构成.本发明提供了一种高可靠长寿命阴...
多层压制阴极制造技术
一种压制钡镍阴极,采用了多层结构,即由表层、中层、底层所构成,并且在阴极中添加了激活剂,兼备了氧化物阴极和贮备型阴极的主要优点,具有工作温度低,电子发射大,蒸发小,抗中毒能力强,寿命长等优点。而且制备工艺简单,可通过调整配方和工艺来满足...
一种高效率微波管制造技术
本发明属于一种新型的高效率微波器件,它提出了利用一个与阴极同电位的平反射极(6)和一个垂直安装在反射极(6)轴线上的针形电极(7)有意识地让经偏转的电子束在横向迅速扩散,同时在纵向压缩,形成一个扇形电子束,从而使空间电荷效应急剧减弱,可...
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