一种可供多台设备的新型安全循环水装置，可用于真空机组、分子泵、离子泵、真空机械泵以及真空镀膜机及各种炉体冷却。其特征在于改单水泵为并联水泵组、改单路水管为水流分流器。使用时既有工作水泵，又有备用水泵；既可使用水流分流器的一条水路，也可使...