张群社专利技术

张群社共有1项专利

  • 本发明公开的一种在优化温度场下生长晶体的方法,采用物理气相传输法的热场结构,在晶体生长腔内、SiC粉料上面放置一上口径小、下口径大的圆锥台挡板,使该圆锥台挡板大端头处外侧与坩埚的内腔壁相接触,并可随SiC粉料的位置而变化。本发明生长方法...
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