本发明公开了一种碳化硅微粉回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、碳化硅粒度分级、碳化硅提纯、微粉干燥、分散筛松。本发明的方法使回收的碳化硅微粉达到与全新碳化硅微粉相同或相近的性能指标...

本发明公开了一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥。本发明的方法使回收的聚乙二醇（ＰＥＧ）基或油基悬浮液达到与全新原料...